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1. WO2001077001 - DISPOSITIF MICRO-ELECTRONIQUE PERMETTANT DE HAUSSER ET D'INCLINER UNE PLATE-FORME

Numéro de publication WO/2001/077001
Date de publication 18.10.2001
N° de la demande internationale PCT/US2001/011430
Date du dépôt international 05.04.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 09.10.2001
CIB
B81B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G02B 6/12 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
10du type guide d'ondes optiques
12du genre à circuit intégré
G02B 6/122 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
10du type guide d'ondes optiques
12du genre à circuit intégré
122Elements optiques de base, p.ex. voies de guidage de la lumière
G02B 6/35 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
24Couplage de guides de lumière
26Moyens de couplage optique
35comportant des moyens de commutation
G02B 26/08 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
G11B 7/09 2006.01
GPHYSIQUE
11ENREGISTREMENT DE L'INFORMATION
BENREGISTREMENT DE L'INFORMATION BASÉ SUR UN MOUVEMENT RELATIF ENTRE LE SUPPORT D'ENREGISTREMENT ET LE TRANSDUCTEUR
7Enregistrement ou reproduction par des moyens optiques, p.ex. enregistrement utilisant un faisceau thermique de rayonnement optique, reproduction utilisant un faisceau optique à puissance réduite; Supports d'enregistrement correspondants
08Dispositions ou montage des têtes ou des sources lumineuses par rapport aux supports d'enregistrement
09comportant des dispositions pour déplacer le rayon lumineux ou son plan focal dans le but de maintenir l'alignement relatif du rayon lumineux et du support d'enregistrement pendant l'opération de transduction, p.ex. pour compenser les irrégularités de surface ou pour suivre les pistes du support
CPC
B81B 2201/038
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
03Microengines and actuators
038Microengines and actuators not provided for in B81B2201/031 - B81B2201/037
B81B 2201/045
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
04Optical MEMS
045Optical switches
B81B 2203/0136
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0136Comb structures
B81B 2203/0307
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
03Static structures
0307Anchors
B81B 2203/053
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
05Type of movement
053Translation according to an axis perpendicular to the substrate
B81B 2203/058
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
05Type of movement
058Rotation out of a plane parallel to the substrate
Déposants
  • SANDIA CORPORATION [--]/[US] (AllExceptUS)
  • MILLER, Samuel, Lee [US]/[US] (UsOnly)
  • MCWHORTER, Paul, Jackson [US]/[US] (UsOnly)
  • RODGERS, Murray, Steven [US]/[US] (UsOnly)
  • SNIEGOWSKI, Jeffry, L. [US]/[US] (UsOnly)
  • BARNES, Stephen, M. [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • MILLER, Samuel, Lee
  • MCWHORTER, Paul, Jackson
  • RODGERS, Murray, Steven
  • SNIEGOWSKI, Jeffry, L.
  • BARNES, Stephen, M.
Mandataires
  • STANLEY, Timothy, D.
Données relatives à la priorité
60/196,62211.04.2000US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MICROELECTROMECHANICAL APPARATUS FOR ELEVATING AND TILTING A PLATFORM
(FR) DISPOSITIF MICRO-ELECTRONIQUE PERMETTANT DE HAUSSER ET D'INCLINER UNE PLATE-FORME
Abrégé
(EN)
A microelectromechanical (MEM) apparatus (10) is disclosed which has a platform (14) that can be elevated above a substrate (12) and tilted at an arbitrary angle using a plurality of flexible members (16) which support the platform (14) and control its movement. Each flexible member (16) is further controlled by one of more MEM actuators (18) which act to bend the flexible member. The MEM actuators (18) can be electrostatic comb actuators (34) or vertical zip actuators (80) or a combination thereof. The MEM apparatus (10) can include a mirror coating (24) to form a programmable mirror for redirecting or switching one or more light beams (200) for use in a projection display. The MEM apparatus (10) with the mirror coating (24) also has applications for switching light beams between optical fibers for use in a local area fiber optic network, or for use in fiber optic telecommunications or data communications systems.
(FR)
Cette invention a trait à un dispositif micro-électronique (MEM) (10), comportant une plate-forme (14) pouvant s'élever au-dessus d'un substrat (12) et être inclinée selon un angle arbitraire et ce, grâce à plusieurs éléments souples (16) soutenant la plate-forme (14) et commandant ses mouvements. Chaque élément souple (16) est, de plus, commandé par un ou plusieurs actionneurs de MEM (18) le faisant s'incurver. Ces actionneurs de MEM (18) peuvent être des actionneurs électrostatiques du type peigne (34) ou des actionneurs verticaux du type ZIP (80) ou bien être une combinaison de ceux-ci. Le dispositif MEM (10) peut être revêtu d'un enduit miroir (24), afin de constituer un miroir programmable aux fins de la réorientation ou du basculement d'un ou plusieurs faisceaux lumineux (200) utilisables dans un système d'affichage par projection. Ce dispositif MEM (10), revêtu d'un enduit miroir (24), permet également de basculer des faisceaux entre des fibres optiques utilisables dans un réseau local à fibre optiques ou dans des systèmes de télécommunications à fibre optiques ou encore dans des systèmes de communication de données.
Également publié en tant que
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