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1. WO2001073937 - ACTIONNEUR DE BALAYAGE BIDIMENSIONNEL A CARDAN DOTE DE XXX VERTICAL ELECTROSTATIQUE PERMETTANT L'ACTIVATION ET/OU LA DETECTION

Numéro de publication WO/2001/073937
Date de publication 04.10.2001
N° de la demande internationale PCT/US2001/009611
Date du dépôt international 22.03.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 19.10.2001
CIB
G02B 6/35 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
24Couplage de guides de lumière
26Moyens de couplage optique
35comportant des moyens de commutation
G02B 26/08 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
H02N 1/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
NMACHINES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
1Générateurs ou moteurs électrostatiques utilisant un porteur mobile de charge électrostatique qui est solide
CPC
G02B 26/0833
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
G02B 26/085
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
085the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
G02B 26/0858
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
0858the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
G02B 26/0866
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
0866the reflecting means being moved or deformed by thermal means
G02B 6/3518
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
24Coupling light guides
26Optical coupling means
35having switching means
351involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
3512the optical element being reflective, e.g. mirror
3518the reflective optical element being an intrinsic part of a MEMS device, i.e. fabricated together with the MEMS device
G02B 6/3556
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
24Coupling light guides
26Optical coupling means
35having switching means
354Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
35543D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a volume
3556NxM switch, i.e. regular arrays of switches elements of matrix type constellation
Déposants
  • ONIX MICROSYSTEMS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • BEHIN, Behrang
  • LAM, Kam, Y.
  • KIANG, Meng-Hsiung
  • DANEMAN, Michael, J.
  • PANNU, Satinderpall, S.
Mandataires
  • RITCHIE, David, B.
Données relatives à la priorité
09/751,66028.12.2000US
60/191,09724.03.2000US
60/191,85624.03.2000US
60/191,98724.03.2000US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) TWO-DIMENSIONAL GIMBALED SCANNING ACTUATOR WITH VERTICAL ELECTROSTATIC COMB-DRIVE FOR ACTUATION AND/OR SENSING
(FR) ACTIONNEUR DE BALAYAGE BIDIMENSIONNEL A CARDAN DOTE DE XXX VERTICAL ELECTROSTATIQUE PERMETTANT L'ACTIVATION ET/OU LA DETECTION
Abrégé
(EN)
A two-dimensional scanner consists of a rotatable gimbal structure with vertical electrostatic comb-drive actuators and sensors. The scanner's two axes of rotation may be controlled independently by activating two sets of vertical comb-drive actuators. The first set of vertical comb-drive actuator is positioned in between a outer frame of the gimbal structure and the base, and the second set of vertical comb-drive actuator is positioned in between the iner part of the gimbal structure and the outer frame of the gimbal structure. The inner part of the gimbal structure may include a reflective surface, and the device may be used as a mirror. Furthermore, the capacitance of the vertical comb-drives may be measured to monitor the angular position of the mirror, and the capacitive position-monitoring signal may be used to implement closed-loop feedback control of the mirror angle. The two-dimensional scanner may be fabricated in a semiconductor process. Two-dimensional scanners may be used to produce fiber-optic switches.
(FR)
L'invention concerne un scanner bidimensionnel qui comporte une structure rotative à cardan dotée d'actionneurs et de détecteurs à commande en peigne verticaux électrostatiques. Les deux axes de rotation du scanner peuvent être commandés de manière indépendante par l'activation de deux ensembles d'actionneurs à commande en peigne verticaux. Le premier ensemble d'actionneurs à commande en peigne verticaux est placé entre un cadre extérieur de la structure à cardan et la base, et le second ensemble d'actionneurs à commande en peigne verticaux est placé entre la partie intérieure de la structure à cardan et le cadre extérieur de cette dernière. La partie intérieure de la structure à cardan peut comporter une surface réfléchissante, et le dispositif peut être utilisé comme miroir. La capacitance des commandes en peigne verticales peut en outre être mesurée afin de surveiller la position angulaire du miroir, et le signal capacitif de surveillance de position peut être utilisé pour mettre en application une commande à rétroaction en boucle fermée de l'angle du miroir. Le scanner bidimensionnel peut être fabriqué selon un processus semi-conducteur et utilisé pour produire des commutateurs à fibres optiques.
Également publié en tant que
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