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1. (WO2001073937) ACTIONNEUR DE BALAYAGE BIDIMENSIONNEL A CARDAN DOTE DE XXX VERTICAL ELECTROSTATIQUE PERMETTANT L'ACTIVATION ET/OU LA DETECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2001/073937    N° de la demande internationale :    PCT/US2001/009611
Date de publication : 04.10.2001 Date de dépôt international : 22.03.2001
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.10.2001    
CIB :
G02B 6/35 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01), H02N 1/00 (2006.01)
Déposants : ONIX MICROSYSTEMS, INC. [US/US]; 4138 Lakeside Drive Richmond, CA 94806 (US)
Inventeurs : BEHIN, Behrang; (US).
LAM, Kam, Y.; (US).
KIANG, Meng-Hsiung; (US).
DANEMAN, Michael, J.; (US).
PANNU, Satinderpall, S.; (US)
Mandataire : RITCHIE, David, B.; Thelen Reid & Priest LLP P.O. Box 640640 San Jose, CA 95164-0640 (US)
Données relatives à la priorité :
60/191,987 24.03.2000 US
60/191,856 24.03.2000 US
60/191,097 24.03.2000 US
09/751,660 28.12.2000 US
Titre (EN) TWO-DIMENSIONAL GIMBALED SCANNING ACTUATOR WITH VERTICAL ELECTROSTATIC COMB-DRIVE FOR ACTUATION AND/OR SENSING
(FR) ACTIONNEUR DE BALAYAGE BIDIMENSIONNEL A CARDAN DOTE DE XXX VERTICAL ELECTROSTATIQUE PERMETTANT L'ACTIVATION ET/OU LA DETECTION
Abrégé : front page image
(EN)A two-dimensional scanner consists of a rotatable gimbal structure with vertical electrostatic comb-drive actuators and sensors. The scanner's two axes of rotation may be controlled independently by activating two sets of vertical comb-drive actuators. The first set of vertical comb-drive actuator is positioned in between a outer frame of the gimbal structure and the base, and the second set of vertical comb-drive actuator is positioned in between the iner part of the gimbal structure and the outer frame of the gimbal structure. The inner part of the gimbal structure may include a reflective surface, and the device may be used as a mirror. Furthermore, the capacitance of the vertical comb-drives may be measured to monitor the angular position of the mirror, and the capacitive position-monitoring signal may be used to implement closed-loop feedback control of the mirror angle. The two-dimensional scanner may be fabricated in a semiconductor process. Two-dimensional scanners may be used to produce fiber-optic switches.
(FR)L'invention concerne un scanner bidimensionnel qui comporte une structure rotative à cardan dotée d'actionneurs et de détecteurs à commande en peigne verticaux électrostatiques. Les deux axes de rotation du scanner peuvent être commandés de manière indépendante par l'activation de deux ensembles d'actionneurs à commande en peigne verticaux. Le premier ensemble d'actionneurs à commande en peigne verticaux est placé entre un cadre extérieur de la structure à cardan et la base, et le second ensemble d'actionneurs à commande en peigne verticaux est placé entre la partie intérieure de la structure à cardan et le cadre extérieur de cette dernière. La partie intérieure de la structure à cardan peut comporter une surface réfléchissante, et le dispositif peut être utilisé comme miroir. La capacitance des commandes en peigne verticales peut en outre être mesurée afin de surveiller la position angulaire du miroir, et le signal capacitif de surveillance de position peut être utilisé pour mettre en application une commande à rétroaction en boucle fermée de l'angle du miroir. Le scanner bidimensionnel peut être fabriqué selon un processus semi-conducteur et utilisé pour produire des commutateurs à fibres optiques.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)