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1. WO2000033318 - DISPOSITIF D'ETAGEMENT SE SON PROCEDE DE FABRICATION; DISPOSITIF D'ALIGNEMENT ET SON PROCEDE DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2000/033318
Date de publication 08.06.2000
N° de la demande internationale PCT/JP1998/005373
Date du dépôt international 30.11.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 28.06.2000
CIB
H02K 41/03 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
KMACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES
41Systèmes de propulsion dans lesquels un élément rigide se déplace le long d'une piste sous l'effet de l'action dynamo-électrique s'exerçant entre cet élément et un flux magnétique se propageant le long de la piste
02Moteurs linéaires; Moteurs sectionnels
03Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
CPC
H02K 2201/18
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
2201Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
18Machines moving with multiple degrees of freedom
H02K 41/03
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
41Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
02Linear motors; Sectional motors
03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
Déposants
  • NIKON CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • TANAKA, Keiichi [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • TANAKA, Keiichi
Mandataires
  • TATEISHI, Atsuji
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) STAGE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ALIGNER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
(FR) DISPOSITIF D'ETAGEMENT SE SON PROCEDE DE FABRICATION; DISPOSITIF D'ALIGNEMENT ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Abrégé
(EN)
A force which cancels a reaction force exerted to a stator (60) by the driving of a mover (51) is imparted to the stator by the electromagnetic interaction produced between reaction force cancelling magnetic pole units (45X1, 45X2, 45Y1 and 45Y2) and an armature coil (63) which is a component of the stator. A magnetic pole unit constituting the mover is composed of a combination of a magnet which is so magnetized as to generate a magnetic flux toward the stator and a magnet which is so magnetized as to generate a magnetic flux crossing the stator without using a yoke member, thereby reducing the weight of the mover. Even if the mover is moved at high speed, the stator does not vibrate, so that the position of a mounted sample (W) can be controlled with high precision while the sample (W) is moved at high speed.
(FR)
Une force annulant la force de réaction exercée sur un stator (60) par l'entraînement d'un élément mobile (51) est appliquée au stator par l'interaction électromagnétique produite entre les unités de pôle magnétique (45X1, 45X2, 45Y1 et 45Y2) et une bobine d'induit (63) faisant partie du stator. L'unité de pôle magnétique qui constitue l'élément mobile est formée par la combinaison d'un aimant magnétisé de manière à produire un flux magnétique dirigé vers le stator, et d'un autre aimant magnétisé de manière à produire un flux magnétique qui traverse le stator sans recours à un étrier, ce qui réduit le poids de la pièce mobile. Même si la pièce mobile est animée d'un mouvement à grande vitesse, le stator ne vibre pas. Il est ainsi possible de régler la position d'un échantillon (W) avec une grande précision alors même que cet échantillon se déplace à grande vitesse.
Également publié en tant que
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