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1. (WO1999042785) APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE DE L'INDICE DE REFRACTION ET DES EFFETS DE LA LONGUEUR DU TRAJET OPTIQUE DE L'AIR PAR INTERFEROMETRIE A PASSAGES MULTIPLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1999/042785    N° de la demande internationale :    PCT/US1999/003499
Date de publication : 26.08.1999 Date de dépôt international : 18.02.1999
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    14.09.1999    
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01N 21/45 (2006.01)
Déposants : ZYGO CORPORATION [US/US]; Laurel Brook Road, Middlefield, CT 06455-0448 (US)
Inventeurs : HILL, Henry, Allen; (US).
DE GROOT, Peter; (US).
DEMAREST, Frank, C.; (US)
Mandataire : CAUFIELD, Francis, J.; 6 Apollo Circle, Lexington, MA 02421-7025 (US)
Données relatives à la priorité :
60/075,566 23.02.1998 US
09/078,163 13.05.1998 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING THE REFRACTIVE INDEX AND OPTICAL PATH LENGTH EFFECTS OF AIR USING MULTIPLE-PASS INTERFEROMETRY
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE DE L'INDICE DE REFRACTION ET DES EFFETS DE LA LONGUEUR DU TRAJET OPTIQUE DE L'AIR PAR INTERFEROMETRIE A PASSAGES MULTIPLES
Abrégé : front page image
(EN)The invention employs multiple pass interferometry (69, 70, 90) to provide measurements of dispersion of the refractive index(n), the dispersion being substantially proportional to the density of the gas, and/or measurements of dispersion of the optical path length(L), the dispersion of the optical path length being related to the dispersion of the refractive index and the physical length of the measurement path. The refractive index of the gas and/or the optical path length effects of the gas are subsequently computed from the measured dispersion of the refractive index and/or the measured dispersion of the optical path length, respectively. In preferred embodiments, differential plane mirror interferometer architecture (69, 70) are utilized, the operating wavelengths (kQ, 2) are approximately harmonically related and may be monitored and/or controlled to meet precision requirements, heterodyne and superheterodyne processing are beneficially used, and phase redundancy is resolved.
(FR)L'invention concerne un appareil et des procédés particulièrement indiqués pour être utilisés dans la métrologie électro-optique et dans d'autres applications afin de mesurer et de contrôler l'indice de réfraction d'un gaz dans au moins un trajet de mesure et/ou la modification de la longueur du trajet optique du trajet de mesure due au gaz, l'indice de réfraction du gaz pouvant fluctuer en raison d'une turbulence ou d'un facteur analogue et/ou la longueur physique du trajet de mesure pouvant être modifiée. De manière plus spécifique, l'invention concerne l'utilisation de l'interférométrie à passages multiples pour effectuer des mesures de dispersion de l'indice de réfraction, la dispersion étant sensiblement proportionnelle à la densité du gaz, et/ou des mesures de dispersion de la longueur du trajet optique, la dispersion de la longueur du trajet optique étant liée à la dispersion de l'indice de réfraction et à la longueur physique du trajet de mesure. L'indice de réfraction du gaz et/ou les effets de la longueur du trajet optique du gaz sont ensuite calculés respectivement à partir de la dispersion mesurée de l'indice de réfraction et/ou de la dispersion mesurée de la longueur du trajet optique. Les données générées par l'appareil selon l'invention sont particulièrement indiquées pour être utilisées dans des instruments de mesure de distance (DMI) interférométrique afin de compenser des erreurs concernant l'indice de réfraction du gaz dans un trajet de mesure, erreurs dues à des facteurs environnementaux et à une turbulence causée par des vitesses de balayage de platine à déplacement rapide. Dans des modes de réalisation préférés, on utilise des architectures différentielles d'interféromètre à miroir plan; les longueurs d'ondes opérationnelles sont approximativement en relation harmonique et peuvent être contrôlées et/ou commandées pour remplir les conditions de précision; on utilise de manière avantageuse un traitement hétérodyne et superhétérodyne; et la redondance de phase est résolue.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)