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1. WO1999004481 - UNITE D'EXCITATION, MOTEUR LINEAIRE OU PLAN UTILISANT L'UNITE, DISPOSITIF A ETAGE UTILISANT LE MOTEUR ET DISPOSITIF D'ALIGNEMENT UTILISANT LE DISPOSITIF

Numéro de publication WO/1999/004481
Date de publication 28.01.1999
N° de la demande internationale PCT/JP1998/002761
Date du dépôt international 22.06.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 27.01.1999
CIB
G03F 7/20 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20Exposition; Appareillages à cet effet
H02K 41/03 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
KMACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES
41Systèmes de propulsion dans lesquels un élément rigide se déplace le long d'une piste sous l'effet de l'action dynamo-électrique s'exerçant entre cet élément et un flux magnétique se propageant le long de la piste
02Moteurs linéaires; Moteurs sectionnels
03Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
H02N 15/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
02PRODUCTION, CONVERSION OU DISTRIBUTION DE L'ÉNERGIE ÉLECTRIQUE
NMACHINES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
15Dispositifs de maintien ou de lévitation utilisant l'attraction ou la répulsion magnétique, non prévus ailleurs
CPC
G03F 7/70758
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
70Exposure apparatus for microlithography
70691Handling of masks or wafers
70758Drive means, e.g. actuator, motor
H02K 2201/18
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
2201Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
18Machines moving with multiple degrees of freedom
H02K 41/03
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
41Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
02Linear motors; Sectional motors
03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
H02N 15/00
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
15Holding or levitation devices using magnetic attraction or repulsion, not otherwise provided for
Déposants
  • NIKON CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • TANAKA, Keiichi [JP]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • TANAKA, Keiichi
Mandataires
  • MORIOKA, Masaki
Données relatives à la priorité
9/21003418.07.1997JP
9/36191210.12.1997JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) EXCITING UNIT, LINEAR OR PLANAR MOTOR USING THE UNIT, STAGE DEVICE USING THE MOTOR, AND ALIGNER USING THE DEVICE
(FR) UNITE D'EXCITATION, MOTEUR LINEAIRE OU PLAN UTILISANT L'UNITE, DISPOSITIF A ETAGE UTILISANT LE MOTEUR ET DISPOSITIF D'ALIGNEMENT UTILISANT LE DISPOSITIF
Abrégé
(EN)
A planar motor two-dimensionally movable in a plane which can generate strong thrust, can move a mover in a two-dimensional plane while the motor gives buoyancy to the mover, and can control the position and attitude of the mover in six degrees of freedom. The planar motor is provided with a mover (4) having a magnetic pole unit (14) in which a plurality of permanent magnets (50N and 50S) are arranged in matrix in an X-Y plane, with their magnetic poles being inverted alternately; an iron core having four arm sections (20-26) forming a cross in the X-Y direction as a whole and five projecting teeth (28-36) formed in the base-side section of the core where the arm sections (20-26) cross and in the front end sections of the arm sections (20-26) and disposed so that the teeth (28-36) can be faced to the magnets (50N and 50S) of the unit (14); and an exciting unit (6) having four armature coils (38-44) which are respectively wound around the arm sections (20-26).
(FR)
Un moteur plan mobile dans deux dimensions dans un plan pouvant produire une forte poussée peut déplacer un dispositif de mouvement dans un plan bidimensionnel tandis que le moteur donne une flottabilité au dispositif de mouvement, et il peut commander la position et l'attitude du dispositif de mouvement dans six degrés de liberté. Le moteur plan comprend un dispositif de mouvement (4) présentant une unité (14) à pôles magnétiques dans laquelle une pluralité d'aimants permanents (50N et 50S) sont agencés en une matrice dans un plan X-Y, leurs pôles magnétiques étant inversés de manière alternée; un noyau en fer comportant quatre parties de bras (20-26) formant globalement une croix dans le sens X-Y, et cinq extrémités saillantes (28-36) formées dans la partie du côté de la base du noyau où les parties de bras (20-26) se croisent et dans les parties extrêmes avant des parties de bras (20-26), en une disposition telle que les extrémités (20-36) puissent se trouver en face des aimants (50N et 50S) de l'unité (14); et une unité d'excitation (6) présentant quatre bobines d'induit (38-44) lesquelles sont enroulées respectivement autour des parties de bras (20-26).
Également publié en tant que
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