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1. WO1999004409 - APPAREIL DE COMMANDE DE PUISSANCE POUR SOURCE D'IONS POSSEDANT UNE CATHODE RECHAUFFEE INDIRECTEMENT

Numéro de publication WO/1999/004409
Date de publication 28.01.1999
N° de la demande internationale PCT/GB1998/002075
Date du dépôt international 14.07.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 09.02.1999
CIB
H01J 27/08 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
27Tubes à faisceau ionique
02Sources d'ions; Canons à ions
08utilisant une décharge d'arc
CPC
H01J 27/08
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
27Ion beam tubes
02Ion sources; Ion guns
08using arc discharge
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US] (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, JP, LU, MC, NL, PT, SE)
  • WELLS, Stephen [GB]/[GB] (UsOnly)
Inventeurs
  • WELLS, Stephen
Mandataires
  • CROSS, Rupert, Edward, Blount
Données relatives à la priorité
9714990.016.07.1997GB
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) POWER CONTROL APPARATUS FOR AN ION SOURCE HAVING AN INDIRECTLY HEATED CATHODE
(FR) APPAREIL DE COMMANDE DE PUISSANCE POUR SOURCE D'IONS POSSEDANT UNE CATHODE RECHAUFFEE INDIRECTEMENT
Abrégé
(EN)
In a power control apparatus for controlling power supply of an ion source having an indirectly heated cathode, the cathode bias power supply which provides a bias potential between the filament and cathode has an output that is effected by changes in impedance of the electron flow in the region between the filament and the cathode. Such impedance changes can arise due to changes in the chemistry of materials in this region, changes in gas pressure or physical changes, for example. A bias supply controller in the power control apparatus maintains the output power of the cathode bias power supply unit at a desired level, thus not effected by changes in impedance of the electron flow between the filament and the indirectly heated cathode.
(FR)
Dans un appareil de commande de puissance servant à commander l'alimentation en puissance d'une source d'ions possédant une cathode réchauffée indirectement, la polarisation de la cathode, qui produit un potentiel de polarisation entre le filament et la cathode, comporte une sortie constituée par des modifications d'impédance du flux d'électrons dans la zone située entre le filament et la cathode. Ces modifications d'impédance peuvent apparaître sous l'effet de variations chimiques des matériaux de cette zone, de variations de pression de gaz ou de variations physiques, par exemple. Une unité de commande de polarisation appartenant à l'appareil de commande de puissance maintient la puissance de sortie de l'unité de polarisation de la cathode à un niveau souhaité, bien que ne découlant pas de modifications d'impédance du flux d'électrons entre le filament et la cathode réchauffée indirectement.
Également publié en tant que
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