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1. WO1999003049 - PROCEDE D'ACQUISITION DE DONNEES INTELLIGENTE DANS UN SYSTEME DE MESURE

Numéro de publication WO/1999/003049
Date de publication 21.01.1999
N° de la demande internationale PCT/US1998/012792
Date du dépôt international 22.06.1998
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 09.02.1999
CIB
G06F 17/40 2006.01
GPHYSIQUE
06CALCUL; COMPTAGE
FTRAITEMENT ÉLECTRIQUE DE DONNÉES NUMÉRIQUES
17Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des fonctions spécifiques
40Acquisition et consignation de données
CPC
G01N 2015/0046
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
15Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
0042Investigating dispersion of solids
0046in gas, e.g. smoke
G01N 2021/354
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
35using infra-red light
3504for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
354Hygrometry of gases
G01N 2021/399
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
39using tunable lasers
396Type of laser source
399Diode laser
G01N 21/3554
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
35using infra-red light
3554for determining moisture content
G01N 21/39
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
39using tunable lasers
Déposants
  • L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE [FR]/[FR]
Inventeurs
  • McANDREW, James, J., F.
Mandataires
  • GESS, Joseph, E.
Données relatives à la priorité
08/893,53911.07.1997US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR INTELLIGENT DATA ACQUISITION IN A MEASUREMENT SYSTEM
(FR) PROCEDE D'ACQUISITION DE DONNEES INTELLIGENTE DANS UN SYSTEME DE MESURE
Abrégé
(EN)
Provided is a novel method for intelligent data acquisition in a measurement system. The method comprises the following steps: (a) providing a measurement system; (b) performing a measurement with the measurement system, thereby obtaining a measurement result; (c) writing the measurement result to a data file on a first storage device; (d) repeating steps (b) and (c) one or more times, thereby accumulating a plurality of measurement results in the data file; (e) generating one or more summary values from the measurement results; (f) saving the one or more summary values to a summary file on the first storage device or on a second storage device; (g) comparing at least one of the one or more summary values with a respective predefined standard summary value corresponding to the at least one summary value, wherein the comparing is made on the basis of a predefined inequality for each summary value being compared; and (h) saving the data file to the first storage device, the second storage device, or a third storage device if one or more of the at least one summary values compared in step (g) is outside of an acceptable range as defined by the respective inequalities, and/or optionally, when a trigger indicates that a condition is present. Particular applicability is found in in-situ moisture concentration measurement in a semiconductor processing apparatus.
(FR)
L'invention concerne un nouveau procédé d'acquisition de données intelligente dans un système de mesure. Le procédé consiste: (a) à prendre un système de mesure; (b) à effectuer une mesure au moyen du système de mesure, pour obtenir un résultat de mesure; (c) à écrire le résultat de mesure dans un fichier de données se trouvant dans un premier dispositif de mémorisation; (d) à répéter les phases (b) et (c) une ou plusieurs fois, pour accumuler plusieurs résultats de mesure dans le fichier de données; (e) à générer une ou plusieurs valeurs récapitulatives à partir des résultats de mesure; (f) à sauvegarder la ou les valeurs récapitulatives dans un fichier récapitulatif se trouvant dans le premier dispositif de mémorisation ou dans un deuxième dispositif de mémorisation; (g) à comparer au moins la ou les valeurs récapitulatives avec une valeur récapitulative de référence prédéfinie respective correspondant à la valeur récapitulative, la comparaison s'effectuant sur la base d'une inégalité prédéfinie pour chaque valeur récapitulative comparée; et (h) à sauvegarder le fichier de données dans le premier dispositif de mémorisation, le deuxième dispositif de mémorisation ou un troisième dispositif de mémorisation si une ou plusieurs des valeurs récapitulatives comparées à la phase (g) se trouve hors d'une gamme acceptable comme défini par les inégalités respectives, et/ou éventuellement, lorsqu'un déclencheur indique qu'une condition est remplie. L'invention peut notamment s'utiliser pour mesurer la teneur en humidité dans un appareil de traitement à semi-conducteurs.
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