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1. WO1997041414 - CIRCUIT DE COMPENSATION DE TEMPERATURE D'UN VACUOMETRE DONT LE FONCTIONNEMENT EST FONDE SUR LA CONDUCTION THERMIQUE

Numéro de publication WO/1997/041414
Date de publication 06.11.1997
N° de la demande internationale PCT/EP1997/001184
Date du dépôt international 08.03.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 07.11.1997
CIB
G01L 21/12 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
21Indicateurs de vide
10en mesurant les variations de la conductivité calorifique du milieu dont on doit mesurer la pression
12Mesure des modifications de la résistance électrique des organes de mesure, p.ex. des filaments; Indicateurs de vide du type Pirani
CPC
G01L 21/12
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
10by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured
12measuring changes in electric resistance of measuring members, e.g. of filaments; Vacuum gauges of the Pirani type
Déposants
  • LEYBOLD VAKUUM GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • KÜSTER, Gerhard [DE]/[DE] (UsOnly)
  • ROLFF, Norbert [NL]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • KÜSTER, Gerhard
  • ROLFF, Norbert
Mandataires
  • LEINEWEBER, Jürgen
Données relatives à la priorité
196 17 238.130.04.1996DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) SCHALTUNG ZUR TEMPERATURKOMPENSATION EINES WÄRMELEITUNGSVAKUUMMETERS
(EN) TEMPERATURE COMPENSATION CIRCUIT FOR A HEAT CONDUCTION VACUUM GAUGE
(FR) CIRCUIT DE COMPENSATION DE TEMPERATURE D'UN VACUOMETRE DONT LE FONCTIONNEMENT EST FONDE SUR LA CONDUCTION THERMIQUE
Abrégé
(DE)
Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltung für ein Wärmeleitungs-Vakuummeter mit einer Brückenschaltung (1), die einen ersten Zweig (2, 3) mit einem Meßwiderstand (12) und einen zweiten Zweig (4, 5) mit einem temperaturabhängigen Widerstand (15) zur Kompensation temperaturbedingter Meßfehler aufweist, und mit einem der Regelung der Brückenspeisespannung (UB) dienenden Operationsverstärker (24), dessen erster Eingang (25) mit dem Zwischenabgriff (7) des Meßzweiges (2, 3) der Brückenschaltung und dessen zweiter Eingang (27) mit dem Zwischenabgriff (9) des Kompensationszweiges (4, 5) der Brückenschaltung verbunden ist; um eine relativ exakte Temperaturkompensation zu erzielen, wird vorgeschlagen, daß parallel zum Kompensationszweig (4, 5) mindestens ein weiterer Kompensationszweig (16, 17) mit einem weiteren temperaturabhängigen Widerstand (23) vorgesehen ist und daß der zweite Eingang (27) des Operationsverstärkers (24) wahlweise mit den Zwischenabgriffen (9, 18) der Kompensationszweige (4, 5; 16, 17) verbindbar ist.
(EN)
The invention relates to a circuit for a heat conduction vacuum gauge with a bridge circuit (1) having a first branch (2, 3) with a measuring resistor (12) and a second branch (4, 5) with a temperature-dependent resistor (15) to compensate for errors of measurement due to temperature, and with an operation amplifier (24) to control the bridge supply voltage, the first output (25) of which is connected to the intermediate tapping (7) of the measuring branch (2, 3) of the bridge circuit and the second (27) to the intermediate tapping (9) of the compensation branch (4, 5) of the bridge circuit. In order to attain relatively precise temperature compensation, it is proposed that there be at least one additional compensation branch (16, 17) parallel to the compensation branch (4, 5), with a further temperature-dependent resistor (23) and that the second input (27) of the operation amplifier (24) be connectable alternatively to the intermediate tappings (9, 18) of the compensation branches (4, 5; 16, 17).
(FR)
L'invention concerne un circuit prévu pour un vacuomètre de conduction thermique avec un circuit en pont (1) comportant une première branche (2, 3) avec une résistance série (12) et une seconde branche (4, 5) avec une résistance (15) dépendant de la température, pour compenser les erreurs de mesure inhérentes à la température. Ce circuit comprend également un amplificateur d'opération (24) servant à réguler la tension d'alimentation du pont (UB), dont la première entrée (25) est connectée à la prise intermédiaire (7) de la branche de mesure (2, 3) du circuit en pont et dont la seconde entrée (27) est connectée à la prise intermédiaire (9) de la branche de compensation (4, 5) du circuit en pont. Afin de parvenir à une compensation relativement précise de la température, il est prévu au moins une autre branche de compensation (16, 17) parallèlement à la branche de compensation (4, 5), avec une autre résistance (23) dépendant de la température. Il est également prévu que la seconde entrée (27) de l'amplificateur d'opération (24) puisse être connectée de manière facultative aux prises intermédiaires (9, 18) des branches de compensation (4, 5; 16, 17).
Également publié en tant que
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