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1. WO1992020092 - REVETEMENT DE PASSIVATION POUR DISPOSITIF SUPRACONDUCTEUR A COUCHES MINCES

Numéro de publication WO/1992/020092
Date de publication 12.11.1992
N° de la demande internationale PCT/US1992/003832
Date du dépôt international 08.05.1992
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 04.12.1992
CIB
H01L 39/24 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
39Dispositifs utilisant la supraconductivité ou l'hyperconductivité; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
24Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement des dispositifs couverts par H01L39/134
CPC
H01L 39/247
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
39Devices using superconductivity; Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
24Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of devices provided for in H01L39/00 or of parts thereof
2419the superconducting material comprising copper oxide
2464After-treatment, e.g. patterning
247Passivation
Déposants
  • SUPERCONDUCTOR TECHNOLOGIES, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • OLSON, William, Levin
  • ZUCK, Betty, Florence
Mandataires
  • MURPHY, David, B.
Données relatives à la priorité
697,66008.05.1991US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PASSIVATION COATING FOR SUPERCONDUCTING THIN FILM DEVICE
(FR) REVETEMENT DE PASSIVATION POUR DISPOSITIF SUPRACONDUCTEUR A COUCHES MINCES
Abrégé
(EN)
A coating for high temperature superconducting devices consists of polyimide. In the preferred embodiment, the polyimide Probamide 412 is utilized to provide a passivation coating for thallium containing or YBCO superconductors. A substantially planar local structure is formed which may be utilized as the base for further structures, such as metallizations. A method for providing polyimide passivation coating on superconductors comprises generally the steps of coating the superconductor with the polyimide, optionally patterning the polyimide with photolithographic techniques, and curing the polyimide by a baking step.
(FR)
Un revêtement pour dispositifs supraconducteurs à haute température se compose de polyimide. Dans le mode de réalisation préférée, on utilise le polyimide Probamide 412 afin de produire un revêtement de passivation pour des supraconducteurs au thallium ou YBCO (baryum et yttrium associés à du cuivre). On forme une structure locale plane que l'on peut utiliser comme base pour d'autres structures, telles que des métallisations. Un procédé de production d'un revêtement de passivation en polyimide sur des supraconducteurs comprend généralement les étapes consistant à recouvrir le supraconducteur de polyimide, facultativement à conférer un motif au polyimide selon des techniques photolithographiques, puis à durcir le polyimide en une étape de cuisson.
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