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1. WO1992018285 - DISPOSITIF DE TRAVAIL AU LASER

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[ JA ]
請 求 の 範 囲

1 . レーザビームを照射して被加工物を加工するレーザ加工 装置において、

前記レーザビームの導光路を構成する光学部品と、

前記光学部品と前記被加工物との間に設けられ高速で回転す る羽車と、

を有することを特徵とするレーザ加工装置。

2 . 前記羽車は、耐熱性金属またはセラミックから成ること を特徵とする請求項 1記載のレーザ加工装置。

3 . 前記羽車は、前記レーザビームを反射する材質から成る ことを特徵とする請求項 1記載のレーザ加工装置。

4 . 前記羽車は、モータによって駆動することを特徵とする 請求項 1記載のレーザ加工装置。

5 . 前記羽車は、高速ガス流によって駆動することを特徵と する請求項 1記載のレーザ加工装置。

6 . 前記羽車は前記レーザビームの導光路を構成する最^の 光学部品と前記被加工物の間に設けたことを特徵とする請求項 1記載のレーザ加工装置。