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1. WO1991015870 - BOBINE ELECTROMAGNETIQUE HAUTE PERFORMANCE POUR LENTILLE ELECTRONIQUE FONCTIONNANT DANS LE VIDE

Numéro de publication WO/1991/015870
Date de publication 17.10.1991
N° de la demande internationale PCT/US1991/002306
Date du dépôt international 03.04.1991
CIB
H01F 5/06 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
FAIMANTS; INDUCTANCES; TRANSFORMATEURS; EMPLOI DE MATÉRIAUX SPÉCIFIÉS POUR LEURS PROPRIÉTÉS MAGNÉTIQUES
5Bobines d'induction
06Isolement des enroulements
H01J 3/22 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
3Détails des dispositifs électronoptiques ou ionoptiques ou des pièges à ions, communs au moins à deux types de base de tubes ou de lampes à décharge
14Dispositifs pour la focalisation ou la réflexion du rayon ou du faisceau
20Lentilles magnétiques
22n'utilisant que des moyens électromagnétiques
H01J 37/141 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
10Lentilles
14magnétiques
141Lentilles électromagnétiques
CPC
H01F 5/06
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
5Coils
06Insulation of windings
H01J 3/22
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
3Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
14Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
20Magnetic lenses
22using electromagnetic means only
H01J 37/141
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
10Lenses
14magnetic
141Electromagnetic lenses
Déposants
  • ORCHID ONE CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • CREWE, Albert, V.
Mandataires
  • CHRYSTAL, John, J.
Données relatives à la priorité
507,17010.04.1990US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) HIGH PERFORMANCE, VACUUM COMPATIBLE ELECTROMAGNETIC LENS COIL
(FR) BOBINE ELECTROMAGNETIQUE HAUTE PERFORMANCE POUR LENTILLE ELECTRONIQUE FONCTIONNANT DANS LE VIDE
Abrégé
(EN)
A high performance, vaccum compatible electromagnetic electron lens coil for electron beam systems has reduced gaseous emissions and improved heat dissipation capability. It comprises a wound coil (48) of electrically conductive wire (56) sheathed in a selected thermoplastic resin insulator (58). The wire insulator is coated with a hermetic layer of low vapor pressure metal (60). The low vapor pressure and hermetic sealing properties of the layer provide ultra high vacuum compatibility of the coil. The high thermal conduction property of the layer provides high heat dissipation capability and therefore permits high current densities in the coil.
(FR)
L'invention porte sur une bobine électromagnétique haute performance pour lentille électronique, fonctionnant dans le vide pour systèmes de faisceaux électroniques qui présente une émission de gaz réduite et une capacité de dissipation de la chaleur améliorée. La bobine se compose d'un bobinage (48) du fil conducteur (56) enveloppé dans une gaine isolante constituée d'une résine thermoplastique sélectionnée (58). L'isolant du fil est revêtu d'une couche hermétique en métal à faible pression de vapeur (60). La faible pression de vapeur et les caractéristiques hermétiques de ladite couche assurent la compatibilité de la bobine avec un vide très poussé. La conduction thermique élevée de la couche assure une très forte capacité de dissipation de la chaleur et autorise en conséquence des densités de courant élevées dans la bobine.
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