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1. WO1991015752 - MICROSCOPE A BALAYAGE A EFFET TUNNEL

Numéro de publication WO/1991/015752
Date de publication 17.10.1991
N° de la demande internationale PCT/US1991/002206
Date du dépôt international 02.04.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 04.10.1991
CIB
G01N 23/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
H01J 37/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
H01J 37/20 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
20Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériau; Moyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
CPC
G01Q 10/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
02Coarse scanning or positioning
G01Q 10/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
10Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04Fine scanning or positioning
G01Q 30/08
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
30Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
08Means for establishing or regulating a desired environmental condition within a sample chamber
G01Q 60/16
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
60Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
10STM [Scanning Tunnelling Microscopy] or apparatus therefor, e.g. STM probes
16Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
G01Q 70/04
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
02Probe holders
04with compensation for temperature or vibration induced errors
Y10S 977/872
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
977Nanotechnology
84Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
849with scanning probe
86Scanning probe structure
872Positioner
Déposants
  • LK TECHNOLOGIES, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • KESMODEL, Larry, L. [US]/[US] (UsOnly)
  • KISER, Michael, W. [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • KESMODEL, Larry, L.
  • KISER, Michael, W.
Mandataires
  • PRICE, Robert, L.
Données relatives à la priorité
503,58203.04.1990US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SCANNING TUNNELING MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE A BALAYAGE A EFFET TUNNEL
Abrégé
(EN)
A scanning tunneling microscope is disclosed which includes a frame assembly having upper frame members (36) coupled to lower frame members (38) by an external vibration isolation structure (42), a sample carousel (10) configured to receive at least one sample to be scanned and a probe carousel (12) configured to receive at least one probe module (22) including a probe tip (27). The sample and probe carousels (10, 12) are coupled to the upper frame members (36) and sample and probe actuators (14, 16) are provided to rotate the carousels. A positioning mechanism is used to maintain a scanning distance between the probe tip and the sample carousel. A control unit (70) controls the overall operation of the actuators to rotate the carousels and the operation of the positioning mechanism to maintain the scanning distance.
(FR)
Microscope à balayage à effet tunnel comportant un montage de châssis avec des éléments de châssis supérieurs (36) reliés à des éléments de châssis inférieurs (38) par une structure d'isolation contre les vibrations provenant de l'extérieur (42), un carrousel d'échantillons (10) conçu de façon à pouvoir recevoir au moins un échantillon devant être analysé et un carrousel de sondes (12) conçu de façon à recevoir au moins un module de sonde (22) englobant une pointe de sonde (27). Les carrousels d'échantillons et de sondes (10, 12) sont reliés aux éléments de châssis supérieurs (36) et des actionneurs d'échantillons et de sondes (14, 16) servent à faire tourner les carrousels. Un mécanisme de mise en place est utilisé pour maintenir une distance d'analyse entre l'extrémité de la sonde et le carrousel d'échantillons. Une unité de commande (70) régit le fonctionnement global des actuateurs pour qu'ils fassent tourner les carrousels ainsi que le fonctionnement du mécanisme de mise en place pour maintenir la distance d'analyse.
Également publié en tant que
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