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1. (WO1989008060) ENSEMBLE DE CAISSON DE TRANSPORT DE TRANCHES, ACCESSIBLE PAR UN ROBOT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1989/008060    N° de la demande internationale :    PCT/US1989/000649
Date de publication : 08.09.1989 Date de dépôt international : 03.03.1989
CIB :
H01L 21/673 (2006.01)
Déposants : FLUOROWARE, INC. [US/US]; 102 Jonathan Boulevard, Chaska, MN 55318 (US)
Inventeurs : KOS, Robert, D.; (US)
Mandataire : STEFFEY, Charles, E.; Faegre & Benson, 2200 Norwest Center, 90 South Seventh Street, Minneapolis, MN 55402-3901 (US)
Données relatives à la priorité :
163,981 04.03.1988 US
196,734 20.05.1988 US
Titre (EN) ROBOTIC ACCESSIBLE WAFER SHIPPER ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE DE CAISSON DE TRANSPORT DE TRANCHES, ACCESSIBLE PAR UN ROBOT
Abrégé : front page image
(EN)A robotic accessible wafer shipper assembly (10) comprises a shipper base (20), a wafer carrier (30) which supports the disks within the base (20), and a shipper cover (40) which mates with the base (20), carrier (30) and cover (40) are provided with certain specific design features which allow them to be handled, as a completely assembled package, by its constituent components and is assembled and disassembled entirely by robotics.
(FR)Un ensemble de caisson de transport (10) de tranches accessible par un robot, comprend une base de caisson (20), un support de tranches (30) supportant les disques à l'intérieur de la base (20), ainsi qu'un couvercle de transport (40) s'assemblant avec la base (20). Le support (30) et le couvercle (40) ont certaines caractéristiques de conception spécifiques permettant de les manipuler comme un module complètement assemblé, à l'aide de ses éléments constitutifs, lequel est entièrement assemblé et désassemblé par un robot.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)