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1. US20110002676 - HEATER BLOCK OF RAPID THERMAL PROCESS APPARATUS

Office États-Unis d'Amérique
Numéro de la demande 12745707
Date de la demande 01.12.2008
Numéro de publication 20110002676
Date de publication 06.01.2011
Type de publication A1
CIB
F27D 11/12
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
27FOURS; CORNUES DE DISTILLATION
DPARTIES CONSTITUTIVES, AMÉNAGEMENTS, ACCESSOIRES DES FOURS OU DES CORNUES, DANS LA MESURE OÙ ILS SONT COMMUNS À PLUS D'UN TYPE DE FOUR
11Aménagement des éléments pour le chauffage électrique dans ou sur les fours
12avec champs électromagnétiques agissant directement sur le matériau à chauffer
Déposants Asia Pacific Systems Inc.
Inventeurs Shim Jang Woo
Kim Seung Yong
Her Jun
Hwang Dae-Cheon
Données relatives à la priorité 1020070124435 03.12.2007 KR
Titre
(EN) HEATER BLOCK OF RAPID THERMAL PROCESS APPARATUS
Abrégé
(EN)

Disclosed is a separation type heater block of a rapid thermal processing apparatus, including a lamp housing formed in a plate shape, and provided with a plurality of lamp insertion holes, into which heating lamps are respectively inserted; a socket housing, into which sockets of the heating lamps are inserted, separably covered on the lamp housing; and a reflector housing provided with light emission holes at positions corresponding to the lamp insertion holes, separably installed under the lamp housing such that lower ends of the heating lamps are respectively inserted into the light emission holes, side walls of the light emission holes serving as barriers, wherein a cooling water channel, through which cooling water flows, is formed through the side walls of the light emission holes of the reflector housing.