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1. US20090130398 - Gradient colored mask

Office États-Unis d'Amérique
Numéro de la demande 11986189
Date de la demande 20.11.2007
Numéro de publication 20090130398
Date de publication 21.05.2009
Numéro de délivrance 08173355
Date de délivrance 08.05.2012
Type de publication B2
CIB
G03F 1/00
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
1Originaux pour la production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. masques, photomasques ou réticules; Masques vierges ou pellicules à cet effet; Réceptacles spécialement adaptés à ces originaux; Leur préparation
G03F 7/26
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
26Traitement des matériaux photosensibles; Appareillages à cet effet
Déposants Eastman Kodak Company
Inventeurs Irving Lyn M.
Irving Mark E.
Thai Lan B.
Mandataires Tucker J. Lanny
Titre
(EN) Gradient colored mask
Abrégé
(EN)

The invention relates to a process for forming a structure comprising: (a) providing a transparent support; (b) forming a color mask having a selected absorption spectral range wherein the color mask has an effectively transparent portion and a partially absorptive portion, wherein the partially absorptive portion includes at least two portions having different optical densities within the absorption spectral range; (c) coating a layer of a photopatternable material sensitive to visible light in the absorption spectral range; (d) exposing and developing the photopatternable material to form a photopattern corresponding to at least one of said two portions of the partially absorptive portion; and (e) depositing and patterning a layer of functional material such that a pattern of functional material results corresponding to the at least one of said two portions of the partially absorptive portion.

Également publié en tant que