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1. US20090213451 - Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control

Office
États-Unis d'Amérique
Numéro de la demande 12436059
Date de la demande 05.05.2009
Numéro de publication 20090213451
Date de publication 27.08.2009
Numéro de délivrance 08102590
Date de délivrance 24.01.2012
Type de publication B2
CIB
G02B 26/00
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
Déposants QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.
Inventeurs Tung Ming-Hau
Kogut Lior
Mandataires Knobbe Martens Olson & Bear LLP
Titre
(EN) Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
Abrégé
(EN)

Methods and apparatus are provided for controlling a depth of a cavity between two layers of a light modulating device. A method of making a light modulating device includes providing a substrate, forming a sacrificial layer over at least a portion of the substrate, forming a reflective layer over at least a portion of the sacrificial layer, and forming one or more flexure controllers over the substrate, the flexure controllers configured so as to operably support the reflective layer and to form cavities, upon removal of the sacrificial layer, of a depth measurably different than the thickness of the sacrificial layer, wherein the depth is measured perpendicular to the substrate.