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1. US20200244963 - System and Method for Inspection Using Tensor Decomposition and Singular Value Decomposition

Office
États-Unis d'Amérique
Numéro de la demande 16744301
Date de la demande 16.01.2020
Numéro de publication 20200244963
Date de publication 30.07.2020
Type de publication A1
CIB
H04N 19/126
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
NTRANSMISSION D'IMAGES, p.ex. TÉLÉVISION
19Procédés ou dispositions pour le codage, le décodage, la compression ou la décompression de signaux vidéo numériques
10utilisant le codage adaptatif
102caractérisés par l’élément, le paramètre ou la sélection affectés ou contrôlés par le codage adaptatif
124Quantification
126Détails des fonctions de normalisation ou de pondération, p.ex. matrices de normalisation ou quantificateurs uniformes variables
G01N 21/95
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
H04N 19/60
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
NTRANSMISSION D'IMAGES, p.ex. TÉLÉVISION
19Procédés ou dispositions pour le codage, le décodage, la compression ou la décompression de signaux vidéo numériques
60utilisant un codage par transformée
CPC
H04N 19/60
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
19Methods or arrangements for coding, decoding, compressing or decompressing digital video signals
60using transform coding
H04N 19/126
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
19Methods or arrangements for coding, decoding, compressing or decompressing digital video signals
10using adaptive coding
102characterised by the element, parameter or selection affected or controlled by the adaptive coding
124Quantisation
126Details of normalisation or weighting functions, e.g. normalisation matrices or variable uniform quantisers
G01N 21/9501
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
Déposants KLA Corporation
Inventeurs Nurmohammed Patwary
Richard Wallingford
James A. Smith
Xiaochun Li
Vladimir Tumakov
Bjorn Brauer
Titre
(EN) System and Method for Inspection Using Tensor Decomposition and Singular Value Decomposition
Abrégé
(EN)

A sample characterization system is disclosed. In embodiments, the sample characterization system includes a controller communicatively coupled to an inspection sub-system, the controller including one or more processors configured to execute a set of program instructions stored in memory, the set of program instructions configured to cause the one or more processors to: acquire one or more target image frames of a sample; generate a target tensor with the one or more acquired target image frames; perform a first set of one or more decomposition processes on the target tensor to form generate one or more reference tensors including one or more reference image frames; identify one or more differences between the one or more target image frames and the one or more reference image frames; and determine one or more characteristics of the sample based on the one or more identified differences.

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