(EN) A rotary type, mass-producing CVD film forming device having high-frequency power supplies and matching boxes fewer than film-forming chambers. The device is characterized by comprising a plurality of column-shaped film-forming chambers each storing a plastic container and provided circularly on a rotary support at equal intervals, a material gas introducing means for introducing a material gal into a container stored in each film-forming chamber via a material gas supply pipe doubling as an internal electrode, and a high- frequency wave supply means for supplying high-frequency wave to an external electrode doubling as part of each film-forming chamber.
© KIPO & WIPO 2007
(KO) 대량 생산용 로터리형 CVD 막형성장치에서는, 하나의 수용공간에 하나의 플라스틱 용기를 수용하는 복수의 수용공간들을 구비하고 외부전극으로 기능하는 하나의 주상체를 제공함으로써, 막형성 챔버가 형성되고, 회전 지지체상에 원형으로 등간격으로 막형성 챔버들이 배치되며, 막형성 챔버들의 각각에 수용되는 플라스틱 용기들 내부에 플라즈마로 전환되는 원료가스를 도입하는 원료가스 도입수단이 제공되고, 막형성 챔버들 각각의 외부전극에 고주파를 공급하는 고주파 공급수단이 제공되어, 플라스틱 용기들의 내부 표면상에 CVD (화학 기상 성장) 막을 형성한다.