(KO) 본 발명은 레이저 광(2.1-2.m)을 균질화하기 위한 기기(1.1-1.m)에 관한 것으로, 상기 기기(1.1-1.m)는 제1 방향으로 나란히 배열된 복수의 마이크로렌즈(30.1-30.n)를 포함하는 제1 마이크로렌즈 어레이(3); 및 상기 제1 방향으로 나란히 배열된 복수의 마이크로렌즈(40.1-40.n)를 포함하는 제2 마이크로렌즈 어레이(4)를 포함하고, 상기 제2 마이크로렌즈 어레이(4)는 상기 제1 마이크로렌즈 어레이(3)로부터의 상기 레이저 광(2.1-2. m)의 빔 전파 방향으로 배열되고, 상기 제2 마이크로렌즈 어레이(4)의 렌즈 정점의 평면(41)은 상기 제1 마이크로렌즈 어레이(3)의 렌즈 정점의 평면(31)에 대해 각도 |α|로 경사지고, 상기 제1 마이크로렌즈 어레이(3) 및 상기 제2 마이크로렌즈 어레이(4)는 상기 제1 방향으로 나란히 배열된 복수의 마이크로렌즈(30.1-30.n, 40.1-40.n)의 초점 거리가 첫 번째 마이크로렌즈(30.1, 40.1)에서 시작하여 n번째 마이크로렌즈(30n, 40n)까지 서로 다르도록 형성되고, 상기 빔 전파 방향으로 상기 제2 마이크로렌즈 어레이(4) 뒤에 광학 웨지(optical wedge)(5)가 배열되고 상기 제1 마이크로렌즈 어레이(3) 및 상기 제2 마이크로렌즈 어레이(4)의 복수의 마이크로렌즈(30.1-30.n, 40.1-40.n)의 초점 거리는 상기 기기(1.1-1.m)의 초점 면(6)이 상기 제2 마이크로렌즈 어레이(4)와 상기 광학 웨지(5) 사이의 에어 갭(7)에 있도록 선택된다.
