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1. KR1020170105515 - 연마용 조성물

Office
République de Corée
Numéro de la demande 1020177019648
Date de la demande 19.01.2016
Numéro de publication 1020170105515
Date de publication 19.09.2017
Type de publication A
CIB
C09G 1/02
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
09COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
GCOMPOSITIONS DE PRODUITS À POLIR AUTRES QUE LE VERNIS À L'ALCOOL; FARTS
1Compositions de produits à polir
02contenant des abrasifs ou agents de polissage
C09K 3/14
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
09COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
KSUBSTANCES POUR DES APPLICATIONS NON PRÉVUES AILLEURS; APPLICATIONS DE SUBSTANCES NON PRÉVUES AILLEURS
3Substances non couvertes ailleurs
14Substances antidérapantes; Abrasifs
Déposants 가부시키가이샤 후지미인코퍼레이티드
Inventeurs 아시타카 게이지
츠보타 쇼고
Mandataires 장수길
성재동
Données relatives à la priorité JP-P-2015-008052 19.01.2015 JP
Titre
(KO) 연마용 조성물
Abrégé
(KO)
pH 6 이하의 연마용 조성물에, 실리카 입자의 표면에 술폰산이 고정화되어 이루어지는 술폰산 수식 콜로이달 실리카와, 물을 함유시키고, 이 때, 상기 술폰산 수식 콜로이달 실리카로서, 주사형 전자 현미경을 사용한 화상 해석에 의한 Heywood 직경(원 상당 직경)에 기초하는 체적 평균 입자 직경의 40% 이하의 입경을 갖는 미소 입자의 개수 분포 비율이 10% 이하인 원료 콜로이달 실리카를, 화학적으로 술폰산기로 변환 가능한 관능기를 갖는 실란 커플링제의 존재 하에서 가열하여 반응물을 얻는 제1 반응 공정과, 상기 반응물을 처리함으로써 상기 관능기를 술폰산기로 변환시키는 제2 반응 공정을 포함하는 제조 방법에 의해 제조된 술폰산 수식 수성 음이온 실리카졸 유래의 것을 사용한다. SiN을 포함하는 연마 대상물을 연마하기 위한 연마용 조성물에 있어서 지립으로서 사용된 경우에 SiN 연마 레이트의 경시적인 안정성을 향상시키고, 또한 과산화수소의 함유량도 저감시킬 수 있다.