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1. (KR1020170008222) 객체의 기하 측정 장치 및 그 방법

Office : République de Corée
Numéro de la demande : 1020167031486 Date de la demande : 13.05.2015
Numéro de publication : 1020170008222 Date de publication : 23.01.2017
Type de publication : A
Demande PCT antérieure: Numéro de la demande: ; Numéro de publication: WO2015176805 Cliquez pour voir les données
CIB :
G01B 11/24
G01M 11/02
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24
pour mesurer des contours ou des courbes
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
M
ESSAI D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES, DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; ESSAI DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11
Essai des appareils d'optique; Essai des structures ou ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
02
Essai des propriétés optiques
CPC :
G01M 11/025
G01B 11/06
G01B 11/24
G01B 11/2441
G01M 11/0214
G01M 11/0221
Déposants : 테일러 홉손 리미티드
Inventeurs : 메이 틸로
암 베크 크리스티안
베르거 게르노트
니콜라우스 랄프
페터 위르겐
Mandataires : 송봉식
정삼영
Données relatives à la priorité : 10 2014 007 203.7 19.05.2014 DE
Titre : (KO) 객체의 기하 측정 장치 및 그 방법
Abrégé : front page image
(KO) 본 발명은 객체(14)의 기하 측정을 위한 장치 및 그 방법에 관한 것이며, 상기 장치는 - 베이스(11), 및 객체(14)를 위해 상기 베이스 상에 배치되는 캐리어 유닛(12)과; - 베이스(11)에 상대적으로 고정될 수 있는 적어도 하나의 기준 객체(18, 20)와; - 기준 객체(18, 20)와 이 기준 객체(18, 20)로 향해 있는 객체(14)의 표면(14a, 14b) 간의 이격 간격을 측정할 수 있는 적어도 하나의 이격 간격 측정 유닛(70)과; - 상면(104) 및 하면(106)을 포함하고 그 자체 상에는 객체(14)가 고정될 수 있는 객체 홀더(100)이면서, 캐리어 유닛(12) 상에서 선택적으로 제1 배향(1)으로, 그리고 제2 배향(2)으로 배치될 수 있는 상기 객체 홀더(100)를; 포함하며, - 이격 간격 측정 유닛(70) 및 객체 홀더(100)는 객체(14)의 표면(14a, 14b)을 스캐닝하기 위해 상호 간에 상대적으로 이동될 수 있고, 객체 홀더(100)는 자체의 상면(104) 상에 그리고 자체의 하면(106) 상에 객체 홀더(100) 및 이격 간격 측정 유닛(70)의 상대 이동에 부합하는 기준 구조(108, 110)를 각각 포함한다.
Also published as:
CN106461376EP3146290US20170082521JP2017519204WO/2015/176805