(KO) 제조 장비를 제어하기 위한 방법들 및 장치가 본원에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 제조 시스템은 프로세스 툴, 질량 유동 제어기 또는 적어도 하나의 서브-팹 보조 시스템 중 적어도 하나의 작동 정보에 대응하는 입력 값들을 수신하는 하나 또는 그 초과의 입력부들을 갖는 통합형 제어기를 포함할 수 있고, 여기에서 통합형 제어기는, 입력 값들을 수신하도록, 수신된 입력 값들에 기초하여 에러 상황이 매칭되는가를 결정하도록, 그리고 적어도 하나의 서브-팹 보조 시스템이, 결정된 에러 상황에 반응하여 페일-세이프 작동 모드로 작동하게 제어하도록 구성된다.