(KO) 에피택셜성장용 기판으로부터 분리 후에 결정축의 격차가 해소된 결정성막과 그 결정성막을 갖추는 것으로 특성이 개선된 각종 디바이스의 제공, 및 결정성막과 디바이스의 제조 방법을 제공하는 것이다.
에피택셜성장용 기판인 단결정 기판의 면위에 에피택셜 성장에 의해 두께 가300μm 이상 10mm 이하의 결정성막을 형성하고, 다음에, 단결정 기판으로부터 결정성막을 분리시키고, 분리 후에 휘어진 상태가 발생한 결정성막의 두께 방향의 상대 위치에 대해, 우묵한 모양에 휘어지고 있는 측의 면을 0%로 가정하고, 볼록한 모양에 휘어지고 있는 면을 100%로 가정했을 때에, 두께 방향의 3% 이상 50% 미만의 범위내의 결정성막내부에 펄스 레이저를 집광하여 주사하고, 펄스 레이저에 의한 다광자 흡수를 이용해 개질영역패턴을 형성하는 것으로, 결정성막의 휘어진 상태량을 감소 또는 해소해, 결정축각도의 격차를 감소 또는 해소한다.