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1. JPWO2019112055 - 形状検査装置及び形状検査方法

Office
Japon
Numéro de la demande 2019558308
Date de la demande 07.12.2018
Numéro de publication WO2019112055
Date de publication 13.06.2019
Numéro de délivrance 6741173
Date de délivrance 29.07.2020
Type de publication B2
CIB
G01B 11/30
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
30pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
CPC
G01B 11/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
G01B 11/30
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
G01N 21/892
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
89in moving material, e.g. running paper or textiles
892characterised by the flaw, defect or object feature examined
Déposants 日本製鉄株式会社
Inventeurs 今野 雄介
園田 貴之
古家 順弘
Mandataires 特許業務法人ブライタス
Données relatives à la priorité 2017236072 08.12.2017 JP
Titre
(JA) 形状検査装置及び形状検査方法
Abrégé
(JA)

【課題】形状検査装置は、第1の照明光源及び第2の照明光源を含むN個の照明光源と、ラインセンサカメラと、各照明光源及びラインセンサカメラを制御する測定制御部と、データ処理部とを備え、第1の照明光源と第2の照明光源は、ラインセンサカメラの正反射方向に対して、光軸を中心に対称に配置され、測定制御部は、照明光源をラインセンサカメラのスキャンレートの周波数の1/Nの周波数で発光強度を変調させ、相違するNパターンの照明強度比を順次繰り返して点灯するように制御し、データ処理部は、撮像画像から第1の分離画像及び第2の分離画像を生成し、第1の分離画像から不要な照明成分を除去した第1の混合解消画像及び第2の分離画像から不要な照明成分を除去した第2の混合解消画像を生成し、第1の混合解消画像と第2の混合解消画像との差分に基づき帯状体の表面の傾きを算出する。これにより、測定対象物の表面形状を一様な感度で測定できる。
【選択図】図10

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