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Paramétrages

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1. JP2007248189 - MANUFACTURING METHOD FOR ANGULAR VELOCITY SENSOR

Office
Japon
Numéro de la demande 2006070603
Date de la demande 15.03.2006
Numéro de publication 2007248189
Date de publication 27.09.2007
Numéro de délivrance 4935128
Date de délivrance 02.03.2012
Type de publication B2
CIB
G01C 19/5628
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5607utilisant des diapasons vibrants
5628Fabrication; Ajustage; Montage; Boîtiers
G01C 19/5783
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5783Montages ou boîtiers non spécifiques à l'un des dispositifs couverts par les groupes G01C19/5607-G01C19/5719137
G01P 21/02
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
PMESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
21Essai ou étalonnage d'appareils ou de dispositifs couverts par les autres groupes de la présente sous-classe
02de tachymètres
H01L 41/08
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
H01L 41/22
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
22Procédés ou appareils spécialement adaptés à l'assemblage, la fabrication ou au traitement de dispositifs piézo-électriques ou électrostrictifs, ou de leurs parties constitutives
Déposants MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
パナソニック株式会社
Inventeurs UEDA SHINJIRO
上田 真二郎
NAKAJIMA KOICHIRO
中島 耕一郎
Mandataires 内藤 浩樹
永野 大介
藤井 兼太郎
Titre
(EN) MANUFACTURING METHOD FOR ANGULAR VELOCITY SENSOR
(JA) 角速度センサの製造方法
Abrégé
(EN)

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of angular velocity sensors for enhancing their productivity.

SOLUTION: After plurally forming first and second vibration elements 4 and 5, and ICs 3 on a sheet-shaped sheet substrate 20, a detection process is done for detecting the characteristics of the plurality of angular velocity sensors by applying an angular velocity to the sheet substrate 20, and an adjustment process is done for adjusting the characteristics of the plurality of angular velocity sensors in order to reduce variation in the characteristics of the plurality of angular velocity sensors. Thereafter, a division process is done for dividing the sheet substrate 20 to one-by-one separate the plurality of angular velocity sensors.

COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

(JA)

【課題】本発明は生産性を向上させることができる角速度センサの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】シート状のシート基板20上に第1の振動素子4、第2の振動素子5およびIC3を複数個形成した後、前記シート基板20に角速度を印加することにより複数個の角速度センサの特性を検知する検知工程と、前記複数個の角速度センサの特性のばらつきを低減させるために前記複数個の角速度センサの特性を調整する調整工程とを行い、その後、前記シート基板20を分割して前記複数個の角速度センサを一個毎に分離する分割工程を行うようにしたものである。
【選択図】図11