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同一の材料から形成されたワンピースアセンブリを有するモノリス型スパッタリングターゲット集成体が開示される。裏打ちプレート部とスパッタリングターゲットのブランク部とを含み、裏打ちプレート部が、例えばバルブ金属、コバルト、チタン又はその合金のような金属から形成されているか、さもなければそのような金属を含むような別のスパッタリングターゲット集成体もまた開示される。さらに、ターゲット集成体を再生利用する方法ならびに組立て加工業者にターゲット集成体を提供する新規な方法もまた開示される。