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1. JPWO2003104826 - 半導体試験装置

Office
Japon
Numéro de la demande 2004511845
Date de la demande 10.06.2003
Numéro de publication WO2003104826
Date de publication 18.12.2003
Numéro de délivrance 4628096
Date de délivrance 19.11.2010
Type de publication B2
CIB
G01R 31/28
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31Dispositions pour tester les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
28Test de circuits électroniques, p.ex. à l'aide d'un traceur de signaux
G01R 25/00
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
25Dispositions pour procéder aux mesures de l'angle de phase entre une tension et un courant ou entre des tensions ou des courants
G01R 31/319
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31Dispositions pour tester les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour tests électriques caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
28Test de circuits électroniques, p.ex. à l'aide d'un traceur de signaux
317Tests de circuits numériques
3181Tests fonctionnels
319Matériel de test, c. à d. circuits de traitement de signaux de sortie
CPC
G01R 31/3191
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
317Testing of digital circuits
3181Functional testing
319Tester hardware, i.e. output processing circuit
31903tester configuration
31908Tester set-up, e.g. configuring the tester to the device under test [DUT], down loading test patterns
3191Calibration
G01R 31/31922
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
317Testing of digital circuits
3181Functional testing
319Tester hardware, i.e. output processing circuit
31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
31922Timing generation or clock distribution
G01R 31/31937
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
317Testing of digital circuits
3181Functional testing
319Tester hardware, i.e. output processing circuit
3193with comparison between actual response and known fault free response
31937Timing aspects, e.g. measuring propagation delay
G01R 25/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
25Arrangements for measuring phase angle between a voltage and a current, or between voltages or currents
G01R 31/28
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
Déposants 株式会社アドバンテスト
Inventeurs 大橋 正俊
岡安 俊幸
Mandataires 渡邊 喜平
Données relatives à la priorité 2002168304 10.06.2002 JP
Titre
(JA) 半導体試験装置
Abrégé
(JA)

DUTから出力される差動のクロック信号CLKのクロスポイントと、データ信号DATAの両信号のタイミングを測定し、両信号間の相対的な位相差を求めることで、良好なデバイスの良否判定が実現可能とする。被試験デバイスから出力される一方の差動の出力信号のクロスポイントのタイミングを測定して得たクロスポイント情報Tcrossを出力する差動信号タイミング測定手段と、DUTから出力される他方の非差動の出力信号の論理が遷移する遷移タイミングを測定して得たデータ変化点情報Tdataを出力する非差動信号タイミング測定手段と、両出力信号を同時に測定して得たクロスポイント情報Tcrossとデータ変化点情報Tdataとの両者間の相対的な位相差を求めて得た位相差ΔTを出力する位相差算出手段と、位相差ΔTを受けて良否判定を行う所定のしきい値に基づいてDUTの相対的な位相関係の良否を判定する良否判定手段とを備える。