1. JP2004518028 - 機能層を形成するためのプラズマ装置及び機能層の形成方法

誘導結合高周波プラズマビーム源（５）を備えたプラズマ装置が提案される。このプラズマビーム源（５）は、プラズマビーム（２０）用の射出開口部（２６）を有するプラズマ形成空間（２７）を囲む燃焼炉本体（２５）と、プラズマ形成空間（２７）を領域的に包囲するコイル（１７）と、ガス及び／又は前駆体物質をプラズマ形成空間（２７）に供給するための供給器（１０）と、コイル（１７）と接続されているプラズマ（２１）の点弧及びプラズマ（２１）への電力供給を行う高周波発生器（１６）とを備えている。この他にもプラズマビーム源（５）は電気的な構成部分を有し、この構成部分を用いてプラズマビーム（２０）の強度を時間周期的に変化させることができる。さらには、基板（１９）上にこのプラズマ装置を用いて機能層を形成するための方法が提案される。