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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact rotary type CVD (chemical vapor deposition) film deposition system for mass production in which the number of high frequency power sources and matching boxes are more reduced than that of film deposition chambers.
SOLUTION: In the CVD system, a columnar body also served as an external electrode is provided with a plurality of storing spaces to be stored with a plastic vessel per piece. Also, the central axis of each storing space and the central axis of the external electrode are parallel, and the storing spaces are arranged on the same circumference with the central axis of the external electrode as a central point, so that uniform self-bias voltage is generated on the wall face of each plastic vessel stored in one external electrode, and a CVD film is uniformly deposited on the inner surface of each plastic vessel.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO
【課題】本発明の目的は、高周波電源及びマッチングボックスの数を成膜チャンバーの数よりも少なくした小型のロータリー型量産用CVD成膜装置を提供することである。【解決手段】本発明のCVD装置は、外部電極を兼ねた1本の柱状体にプラスチック容器を1本毎に収容する収容空間を複数個設け且つ各収容空間の中心軸と外部電極の中心軸とが平行で外部電極の中心軸を中心点とする同一円周上に収容空間を並設することで、1個の外部電極に収容した各プラスチック容器の壁面に均一な自己バイアス電圧を発生させて各プラスチック容器の内表面にCVD膜を均一に成膜することを特徴とする。【選択図】 図1