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1. JP2001500976 - 半導体材料の中に注入されたイオンの濃度を測定するための改善された方法及び装置

Office
Japon
Numéro de la demande 1999505843
Date de la demande 26.06.1998
Numéro de publication 2001500976
Date de publication 23.01.2001
Type de publication A
CIB
G01N 21/00
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
G01N 21/41
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
41Réfringence; Propriétés liées à la phase, p.ex. longueur du chemin optique
G01N 21/47
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
47Dispersion, c. à d. réflexion diffuse
CPC
G01N 21/17
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
G01N 21/1717
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
1717with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance
Déposants
Inventeurs バネット,マシュー ジェイ
ロジャーズ,ジョン エイ
フックス,マーティン
Mandataires 伊東 忠彦
Données relatives à la priorité 08885786 30.06.1997 US
08926850 10.09.1997 US
Titre
(JA) 半導体材料の中に注入されたイオンの濃度を測定するための改善された方法及び装置
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