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1. FR2872572 - TEST DE L'ETANCHEITE DE MEMS OU DE PETITS COMPOSANTS ENCAPSULES

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Office France
Numéro de la demande 0451370
Date de la demande 30.06.2004
Numéro de publication 2872572
Date de publication 06.01.2006
Numéro de délivrance
Date de délivrance 22.09.2006
Type de publication B1
CIB
G01M 3/02
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
3Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide
02par utilisation d'un fluide ou en faisant le vide
B81C 99/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
99Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
G01L 21/12
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
21Indicateurs de vide
10en mesurant les variations de la conductivité calorifique du milieu dont on doit mesurer la pression
12Mesure des modifications de la résistance électrique des organes de mesure, p.ex. des filaments; Indicateurs de vide du type Pirani
G01M 3/00
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
3Examen de l'étanchéité des structures ou ouvrages vis-à-vis d'un fluide
CPC
G01M 3/002
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
002by using thermal means
G01M 3/3281
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
3Investigating fluid-tightness of structures
02by using fluid or vacuum
26by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
32for containers, e.g. radiators
3281removably mounted in a test cell
Déposants COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventeurs DE CRECY FRANCOIS
DIEM BERNARD
Données relatives à la priorité 0451370 30.06.2004 FR
Titre
(FR) TEST DE L'ETANCHEITE DE MEMS OU DE PETITS COMPOSANTS ENCAPSULES
front page image
Abrégé
(FR)

L'invention concerne un procédé de test de l'étanchéité d'un MEMS ou d'un petit composant encapsulé, le MEMS ou le petit composant étant logé dans une cavité d'un support, la cavité étant fermée par des moyens d'étanchéité et contenant un gaz à une masse volumique différente de celle qu'il aurait s'il était à la pression du milieu extérieur à la cavité. Le procédé comprend une étape de mesure de la masse volumique du gaz contenu dans la cavité.
Également publié en tant que
EP1761752
US20070234782
JP2008504549
WO/2006/008412
US2007234782
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