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Paramétrages

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1. EP2725332 - Procédé de fabrication d'un capteur piézorésistif

Office Office européen des brevets (OEB)
Numéro de la demande 13188515
Date de la demande 14.10.2013
Numéro de publication 2725332
Date de publication 30.04.2014
Type de publication B1
CIB
G01L 1/18
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
1Mesure des forces ou des contraintes, en général
18en utilisant des propriétés des matériaux piézo-résistants, c. à d. des matériaux dont la résistance ohmique varie suivant les modifications de la grandeur ou de la direction de la force appliquée au matériau
G01D 5/12
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
DMESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉE À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; DISPOSITIONS NON COUVERTES PAR UNE SEULE DES AUTRES SOUS-CLASSES POUR MESURER PLUSIEURS VARIABLES; APPAREILS COMPTEURS À TARIFS; DISPOSITIONS POUR LE TRANSFERT OU LA TRANSDUCTION DE MESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉES À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; MESURES OU TESTS NON PRÉVUS AILLEURS
5Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière
12utilisant des moyens électriques ou magnétiques
G01P 15/08
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
PMESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02en ayant recours aux forces d'inertie
08avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
G01P 15/12
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
PMESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02en ayant recours aux forces d'inertie
08avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
12par modification d'une résistance électrique
H01C 10/10
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
CRÉSISTANCES
10Résistances variables
10variables par pression ou force mécanique
CPC
G01P 15/0802
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
0802Details
G01L 1/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
18using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
G01P 15/123
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
12by alteration of electrical resistance
123by piezo-resistive elements, e.g. semiconductor strain gauges
H01C 10/10
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CRESISTORS
10Adjustable resistors
10adjustable by mechanical pressure or force
Déposants COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventeurs POLESEL MARIS JÉRÔME
États désignés
Données relatives à la priorité 1260072 23.10.2012 FR
Titre
(DE) Herstellungsverfahren eines piezoresistiven Sensors
(EN) Method for manufacturing a piezoresistive sensor
(FR) Procédé de fabrication d'un capteur piézorésistif
Abrégé
(FR)
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur piézorésistif comprenant au moins un levier en polyimide muni d'au moins une électrode, caractérisé en ce qu'il comprend, à partir d'une feuille en polyimide recouverte d'une couche métallique, les étapes suivantes : (a) déposer une couche faite d'un matériau photosensible positif sur la couche métallique ; (b) déposer un masque sur la couche en matériau photosensible, ledit masque étant un masque positif dont le motif définit au moins la forme de ou de chaque électrode métallique, à réaliser, du capteur ; (c) insoler l'ensemble formé à l'issue de l'étape (b) du côté de la couche en matériau photosensible pour activer la partie de cette couche qui n'est pas protégée par le masque ; (d) retirer le masque ; (e) révéler par voie chimique le motif de la couche en matériau photosensible défini par le masque, cette étape permettant de supprimer la partie de la couche photosensible insolée lors de l'étape (c) et ainsi de mettre à nue une partie de la couche métallique ; (f) effectuer un recuit pour durcir la partie de la couche en matériau photosensible restante ; (g) supprimer par voie chimique la partie de la couche métallique qui a été mise à nue lors de l'étape (e), par exemple dans une solution aqueuse basique ou acide ; (h) supprimer la partie de la couche en matériau photosensible restante, de sorte à former une feuille en polyimide sur laquelle est déposé le motif métallique correspondant à celui du masque ; (i) former le ou chaque levier dans la feuille en polyimide.

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