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1. (EP2725332) Procédé de fabrication d'un capteur piézorésistif

Office : Office européen des brevets (OEB)
Numéro de la demande : 13188515 Date de la demande : 14.10.2013
Numéro de publication : 2725332 Date de publication : 30.04.2014
Type de publication : B1
États désignés : AL, AT, BA, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, ME, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
CIB :
G01L 1/18
G01D 5/12
G01P 15/08
G01P 15/12
H01C 10/10
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
1
Mesure des forces ou des contraintes, en général
18
en utilisant des propriétés des matériaux piézo-résistants, c. à d. des matériaux dont la résistance ohmique varie suivant les modifications de la grandeur ou de la direction de la force appliquée au matériau
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
D
MESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉE À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; DISPOSITIONS NON COUVERTES PAR UNE SEULE DES AUTRES SOUS-CLASSES POUR MESURER PLUSIEURS VARIABLES; APPAREILS COMPTEURS À TARIFS; DISPOSITIONS POUR LE TRANSFERT OU LA TRANSDUCTION DE MESURE NON SPÉCIALEMENT ADAPTÉES À UNE VARIABLE PARTICULIÈRE; MESURES OU VÉRIFICATIONS NON PRÉVUES AILLEURS
5
Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière
12
utilisant des moyens électriques ou magnétiques
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
P
MESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15
Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02
en ayant recours aux forces d'inertie
08
avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
P
MESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15
Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02
en ayant recours aux forces d'inertie
08
avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
12
par modification d'une résistance électrique
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
C
RÉSISTANCES
10
Résistances variables
10
variables par pression ou force mécanique
CPC :
G01P 15/0802
G01L 1/18
G01P 15/123
H01C 10/10
Déposants : COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventeurs : POLESEL MARIS JÉRÔME
Données relatives à la priorité : 1260072 23.10.2012 FR
Titre : (DE) Herstellungsverfahren eines piezoresistiven Sensors
(EN) Method for manufacturing a piezoresistive sensor
(FR) Procédé de fabrication d'un capteur piézorésistif
Abrégé : front page image
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur piézorésistif comprenant au moins un levier en polyimide muni d'au moins une électrode, caractérisé en ce qu'il comprend, à partir d'une feuille en polyimide recouverte d'une couche métallique, les étapes suivantes : (a) déposer une couche faite d'un matériau photosensible positif sur la couche métallique ; (b) déposer un masque sur la couche en matériau photosensible, ledit masque étant un masque positif dont le motif définit au moins la forme de ou de chaque électrode métallique, à réaliser, du capteur ; (c) insoler l'ensemble formé à l'issue de l'étape (b) du côté de la couche en matériau photosensible pour activer la partie de cette couche qui n'est pas protégée par le masque ; (d) retirer le masque ; (e) révéler par voie chimique le motif de la couche en matériau photosensible défini par le masque, cette étape permettant de supprimer la partie de la couche photosensible insolée lors de l'étape (c) et ainsi de mettre à nue une partie de la couche métallique ; (f) effectuer un recuit pour durcir la partie de la couche en matériau photosensible restante ; (g) supprimer par voie chimique la partie de la couche métallique qui a été mise à nue lors de l'étape (e), par exemple dans une solution aqueuse basique ou acide ; (h) supprimer la partie de la couche en matériau photosensible restante, de sorte à former une feuille en polyimide sur laquelle est déposé le motif métallique correspondant à celui du masque ; (i) former le ou chaque levier dans la feuille en polyimide.
Also published as:
FR2997187