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1. EP3722745 - DISPOSITIF D'INSPECTION DE FORME ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE FORME

Office
Office européen des brevets (OEB)
Numéro de la demande 18885299
Date de la demande 07.12.2018
Numéro de publication 3722745
Date de publication 14.10.2020
Type de publication A1
CIB
G01B 11/24
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
G01B 11/30
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
30pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
G01N 21/892
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
89dans un matériau mobile, p.ex. du papier, des textiles
892caractérisée par la crique, le défaut ou la caractéristique de l'objet examiné
CPC
G01B 11/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
G01B 11/30
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
G01N 21/892
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
89in moving material, e.g. running paper or textiles
892characterised by the flaw, defect or object feature examined
Déposants NIPPON STEEL CORP
Inventeurs KONNO YUSUKE
SONODA TAKAYUKI
FURUYA NOBUHIRO
États désignés
Données relatives à la priorité 2017236072 08.12.2017 JP
Titre
(DE) FORMINSPEKTIONSVORRICHTUNG UND FORMINSPEKTIONSVERFAHREN
(EN) SHAPE INSPECTION DEVICE AND SHAPE INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE FORME ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE FORME
Abrégé
(EN)
A shape inspection apparatus includes N illumination light sources including a first illumination light source and a second illumination light source, a line sensor camera, a measurement control unit configured to control each of the illumination light sources and the line sensor camera, and a data processing unit, the first illumination light source and the second illumination light source are arranged to be symmetric about an optical axis with respect to a specular reflection direction of the line sensor camera, the measurement control unit controls the illumination light sources to modulate luminescence intensities at a frequency that is 1/N of a frequency of a scan rate of the line sensor camera, and to emit lights by sequentially repeating N different patterns of illumination intensity ratios, and the data processing unit generates a first separated image and a second separated image based on a photographed image, generates a first mixing elimination image acquired by removing an unnecessary illumination component from the first separated image, and a second mixing elimination image acquired by removing an unnecessary illumination component from the second separated image, and calculates an inclination of the surface of the strip-shaped body based on a difference between the first mixing elimination image and the second mixing elimination image. Accordingly, the surface shape of a measurement object can be measured with a uniform sensitivity.

(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection de forme comprenant : N sources de lumière d'éclairage comprenant une première source de lumière d'éclairage et une seconde source de lumière d'éclairage; une caméra de capteur de ligne; une unité de commande de mesure qui commande les sources de lumière d'éclairage et la caméra de capteur de ligne; et une unité de traitement de données. La première source de lumière d'éclairage et la seconde source de lumière d'éclairage sont disposées symétriquement autour de l'axe optique par rapport à la direction spéculaire de la caméra de capteur de ligne. L'unité de commande de mesure module les intensités d'émission de lumière des sources de lumière d'éclairage à une fréquence correspondant à 1/N de la fréquence du taux de balayage de la caméra de capteur de ligne, et commande l'éclairage des sources de lumière d'éclairage de façon à répéter séquentiellement N motifs différents des rapports d'intensité d'éclairage. L'unité de traitement de données génère une première image séparée et une seconde image séparée à partir d'une image capturée, génère une première image annulée de mélange obtenue par l'élimination d'un composant d'éclairage inutile de la première image séparée et une seconde image annulée de mélange obtenue par l'élimination d'un composant d'éclairage inutile de la seconde image séparée, et calcule l'inclinaison de surface d'un corps de type bande en fonction de la différence entre la première image annulée de mélange et la seconde image annulée de mélange. Ainsi, la forme de surface d'un objet à mesurer peut être mesurée à une sensibilité uniforme.

Également publié en tant que