(EN) A layer of tungsten nitride is deposited on the upper surface of a wafer with improved adhesion. The deposition is performed by first pretreating the wafer with a hydrogen plasma prior to performing tungsten nitride deposition.
(FR) Une couche de nitrure de tungstène est déposée sur la surface supérieure d'une tranche à adhérence améliorée. Le dépôt s'effectue en prétraitant tout d'abord la tranche avec un plasma d'hydrogène, avant de procéder au dépôt de nitrure de tungstène.