1. DE102020114077 - Vorrichtung zur Homogenisierung von Laserlicht und Anordnung einer Mehrzahl derartiger Vorrichtungen

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1.1-1.m) zur Homogenisierung von Laserlicht (2.1-2.m), umfassend - ein erstes Mikrolinsenarray (3) mit einer Mehrzahl von Mikrolinsen (30.1-30.n), die in einer ersten Richtung nebeneinander angeordnet sind, - ein zweites Mikrolinsenarray (4) mit einer Mehrzahl von Mikrolinsen (40.1-40.n), die in der ersten Richtung nebeneinander angeordnet sind, wobei das zweite Mikrolinsenarray (4) in Strahlausbreitungsrichtung des Laserlichts (2.1-2.m) vom ersten Mikrolinsenarray (3) beabstandet angeordnet ist und die Ebene (41) der Linsenscheitel des zweiten Mikrolinsenarrays (4) zur Ebene (31) der Linsenscheitel des ersten Mikrolinsenarrays (3) um einen Winkel |α| geneigt ist und wobei die Mikrolinsenarrays (3, 4) so ausgebildet sind, dass sich die Brennweiten der in der ersten Richtung nebeneinander angeordneten Mikrolinsen (30.1-30.n, 40.1-40.n) ausgehend von der ersten Mikrolinse (30.1, 40.1) bis zur n-ten Mikrolinse (30n, 40n) verändern, wobei in Strahlausbreitungsrichtung hinter dem zweiten Mikrolinsenarray (4) ein optischer Keil (5) angeordnet ist und die Brennweiten der Mikrolinsen (30.1-30.n, 40.1-40.n) der Mikrolinsenarrays (3, 4) so gewählt sind, dass eine Brennebene (6) der Vorrichtung (1.1-1.m) in einem Luftspalt (7) zwischen dem zweiten Mikrolinsenarray (4) und dem optischen Keil (5) liegt.