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1. CN1754008 - Gas distribution plate assembly for large area plasma enhanced chemical vapor deposition

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[ ZH ]

权利要求书

1.一种用于处理腔的气体分配板组件,包括:
扩散板,所述扩散板具有上游侧、下游侧、及多个在所述扩散板的所 述上游侧与下游侧之间通过的气体通道,每一个气体通道具有:
第一孔,所述第一孔从该上游侧延伸、具有第一直径且从所述上游 侧延伸第一深度;
喇叭状的第二孔,所述第二孔与所述第一孔同心、从所述下游侧延 伸第二深度且具有第二直径;
节流孔,所述节流孔与所述第一孔与第二孔流体连接并具有比所述 第一孔与所述第二孔小的直径;以及
连接至所述扩散板的一射频电源,以激发等离子。

2.如权利要求1所述的气体分配板组件,其特征在于,所述喇叭状的 第二孔呈22到35度的喇叭状角。

3.如权利要求1所述的气体分配板组件,其特征在于,所述上游侧表 面包括未阳极电镀的铝,而下游侧表面经过阳极电镀。

4.如权利要求1所述的气体分配板组件,其特征在于,所述扩散板进 一步包括:
第一板,所述第一板具有在所述第一板中形成的所述气体通道的所述 第一孔的至少一部分;及
第二板,所述第二板连接至所述第一板,且具有在所述第二板中形成 的所述气体通道的所述喇叭状的第二孔的至少一部分。

5.如权利要求1所述的气体分配板组件,其特征在于,进一步包括:
悬挂板,所述悬挂板具有多边形孔径,且所述悬挂板适于在处理腔中 支撑所述扩散板。

6.如权利要求5所述的气体分配板组件,其特征在于,进一步包括:
多个在所述悬挂板与扩散板之间延伸的销,这些销中的至少一个以容 纳热膨胀之差的方式与形成在所述悬挂板或扩散板之一中的槽的配合。

7.如权利要求1所述的气体分配板组件,其特征在于,所述扩散板是 多边形。

8.如权利要求1所述的气体分配板组件,其特征在于,通过所述扩散 板形成的这些节流孔中的至少一个具有与其它节流孔中至少一个不同的流 动限制特性。