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1. CN113906325 - LIGHT DEFLECTOR AND MANUFACTURING METHOD

Office
Chine
Numéro de la demande 202080040745.4
Date de la demande 20.05.2020
Numéro de publication 113906325
Date de publication 07.01.2022
Type de publication A
CIB
G02B 26/10
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
10Systèmes de balayage
B81B 3/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B81C 1/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
G02B 26/08
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
CPC
B81C 1/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G02B 26/0858
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
0858the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
G02B 26/105
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
105with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
Déposants STANLEY ELECTRIC CO., LTD.
斯坦雷电气株式会社
Inventeurs AKIYAMA KEITA
秋山庆太
Mandataires 北京三友知识产权代理有限公司 11127
北京三友知识产权代理有限公司 11127
Données relatives à la priorité 2019106111 06.06.2019 JP
Titre
(EN) LIGHT DEFLECTOR AND MANUFACTURING METHOD
(ZH) 光偏转器及其制造方法
Abrégé
(EN) Provided is a light deflector that can suppress cleavage of a radius provided at a joint of a torsion bar 12. The light deflector 10 includes a mirror section 11, a pair of torsion bars 12, an inside piezoelectric actuator 13, and a movable frame section 14. The crystal orientation in the axial direction of the torsion bar 12 is <100>. Radii 31ab, 31bb are formed at joint edges of the torsion bars 12 and the inside piezoelectric actuator 13, so as to each have a curved surface that is oriented in <110> and recessed inward. The waviness associated with a roughness curve derived from the curved surfaces is set to be within 600 nm.
(ZH) 本发明提供一种光偏转器及其制造方法。利用该光偏转器及其制造方法,能够抑制设置在扭杆(12)的结合部上的R部的劈开。光偏转器(10)具备镜部(11)、一对扭杆(12)、内侧压电致动器(13)及可动框部(14)。将扭杆(12)的轴向设置成结晶取向<100>。在扭杆(12)与内侧压电致动器(13)的结合缘部上形成R部(31a,31bb),该R部形成为朝向<110>且向内侧凹陷的弯曲面。从该弯曲面导出的粗糙度曲线的波纹量设置在600nm以内。
Documents de brevet associés
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