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Paramétrages

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1. CN111812357 - Self-filling three-arm type thermal scanning probe for micro-nano manufacturing

Office
Chine
Numéro de la demande 202010662491.1
Date de la demande 10.07.2020
Numéro de publication 111812357
Date de publication 23.10.2020
Numéro de délivrance 111812357
Date de délivrance 25.05.2021
Type de publication B
CIB
G01Q 70/18
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
16Fabrication des sondes
18Fonctionnalisation
G01Q 70/10
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
08Caractéristiques des sondes
10Forme ou cônicité
G01Q 70/14
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
QTECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE
70Aspects généraux des sondes SPM, leur fabrication ou leur instrumentation correspondante, dans la mesure où ces sondes ne sont pas spécialement adaptées à une seule technique SPM couverte par le groupe G01Q60/230
08Caractéristiques des sondes
14Matériaux particuliers
B81C 99/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
CPROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
99Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
B82Y 40/00
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82NANOTECHNOLOGIE
YUTILISATION OU APPLICATIONS SPÉCIFIQUES DES NANOSTRUCTURES; MESURE OU ANALYSE DES NANOSTRUCTURES; FABRICATION OU TRAITEMENT DES NANOSTRUCTURES
40Fabrication ou traitement des nanostructures
CPC
G01Q 70/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
16Probe manufacture
18Functionalisation
G01Q 70/10
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
08Probe characteristics
10Shape or taper
G01Q 70/14
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
70General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
08Probe characteristics
14Particular materials
B81C 99/0005
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
99Subject matter not provided for in other groups of this subclass
0005Apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of microstructural devices or systems, or methods for manufacturing the same
B82Y 40/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
40Manufacture or treatment of nanostructures
Déposants ZHEJIANG UNIVERSITY
浙江大学
Inventeurs HU HUAN
胡欢
MAO RENWEI
茅仁伟
Mandataires 杭州求是专利事务所有限公司 33200
Titre
(EN) Self-filling three-arm type thermal scanning probe for micro-nano manufacturing
(ZH) 一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针
Abrégé
(EN) The invention discloses a self-filling three-arm type thermal scanning probe for micro-nano manufacturing. The probe is composed of a three-arm type cantilever beam, a metal contact bonding pad, a nickel-chromium alloy heating electrode for printing, a nickel-chromium alloy heating electrode for conveying and a polymer storage area. The method adopts conventional micro-nano processing technologiessuch as photoetching, wet etching and the like. According to the probe the gradient density design of the heating electrode is utilized to generate continuous temperature gradient change, so continuous transportation of the printing material from the storage area to the needle tip area is realized, and self-filling is realized. The probe can be seamlessly integrated with a CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Transistor) process, and the printed material can be thoroughly eliminated through acetone or oxygen plasma commonly used in the CMOS process without contamination, the micro-nano machining method only needs an atomic force microscope with the manufacturing cost far lower than that of an electron beam lithography machine or an extreme ultraviolet lithography machine, printing is conducted at the normal temperature, and the probe has advantages of being low in cost and easy to use.
(ZH) 本发明公开了一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针,该探针由三臂式悬臂梁、金属接触焊盘、打印用镍铬合金加热电极、输运用镍铬合金加热电极和聚合物存储区组成。本发明采用光刻、湿法刻蚀等常规微纳加工工艺制作得到。本发明利用加热电极的梯度密度设计,产生连续的温度梯度变化,从而实现打印料物从储存区到针尖区的持续性输运,实现自填料。本发明可以和CMOS工艺无缝集成,且打印出的材料可以通过CMOS工艺中常用的丙酮或者氧气等离子体彻底消除,没有沾污;而且采用本发明的微纳米加工方法只需要造价远远低于电子束光刻机或者极紫外光刻机的原子力显微镜,在常温下打印,具有成本低、使用简单的特点。
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