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1. (KR1020160028428) PRESSURE-CONTROLLED WAFER CARRIER AND WAFER TRANSPORT SYSTEM

专利局 : 韩国
申请号: 1020160020803 申请日: 22.02.2016
公布号: 1020160028428 公布日: 11.03.2016
授权号: 1018882360000 授权日: 13.08.2018
公布类型: B1
国际专利分类:
H01L 21/677
B01J 3/02
H01L 21/673
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
B 作业;运输
01
一般的物理或化学的方法或装置
J
化学或物理方法,如催化作用;及其设备
3
利用低于或高于大气压力使物质发生化学或物理变化的方法;其有关设备
02
它们的进料或出口装置
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
673
使用专用的载体的
CPC:
H01L 21/67126
H01L 21/67201
H01L 21/68735
申请人: 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
发明人: 첸 시훙
첸 시훙
代理人: 김태홍
김진회
김태홍
김진회
优先权数据: 13/831,498 14.03.2013 US
标题: (EN) PRESSURE-CONTROLLED WAFER CARRIER AND WAFER TRANSPORT SYSTEM
(KO) 압력­제어형 웨이퍼 캐리어 및 웨이퍼 운송 시스템
摘要: front page image
(EN) To prevent wafer contaminations arising from atmospheric exposure in conventional wafer carriers, disclosed are a wafer carrier for maintaining wafers under a constant pressure at any preset value below or above the atmospheric pressure, and a system and a method for wafer transport using the wafer carrier. A wafer carrier charged with a preset carrier pressure is transported and docked with an air lock of a wafer processing tool which comprises: an air lock; a vacuum transport module; and a process chamber. The air lock controls the internal pressure by a gas pump for the internal pressure to be equal to a first carrier pressure before opening of a carrier door, and next, for the internal pressure to be equal to the pressure of the vacuum transport module before opening of a door of the vacuum transport module. Next, wafers are transported into the process chamber. After processing, the wafers are transferred back into the wafer carrier and charged with the preset carrier pressure before undocked and transported to the next wafer processing tool. COPYRIGHT KIPO 2016
(KO) 통상적인 웨이퍼 캐리어들에서의 대기 노출로부터 초래되는 웨이퍼 오염을 방지하기 위해서, 웨이퍼들을 일정한 압력의, 대기압 이하의 또는 이상의 임의의 미리 설정된 값 하에서 웨이퍼들을 유지하는 웨이퍼 캐리어가 개시되고, 그리고 또한 그러한 웨이퍼 캐리어를 이용하는 웨이퍼 운송 시스템 및 방법이 개시된다. 미리 설정된 캐리어 압력으로 충전된 웨이퍼 캐리어가 운송되고, 그리고 에어록, 진고 이송 모듈, 및 프로세스 챔버를 포함하는 웨이퍼 프로세싱 툴의 에어록과 도킹된다. 에어록은, 가스 펌프에 의해서, 내부 압력이, 캐리어 도어의 개방에 앞서서 제 1의 캐리어 압력과 같아지도록 그리고 다음에, 진공 이송 모듈의 도어의 개방에 앞서서 진공 이송 모듈 압력과 같아지도록 조정한다. 이어서, 웨이퍼들이 프로세스 챔버 내로 이송된다. 프로세싱 후에, 웨이퍼들이 웨이퍼 캐리어 내로 역으로 이송되고 그리고 언도킹되어 다음 웨이퍼 프로세싱 툴로 운송되기에 앞서서, 미리 설정된 캐리어 압력으로 충전된다.
也发表为:
CN104051310KR1020140113302