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1. (WO2019064692) CHARACTERISTIC EVALUATION DEVICE FOR APPLIED DROPLET
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公布号: WO/2019/064692 国际申请号: PCT/JP2018/020265
公布日: 04.04.2019 国际申请日: 28.05.2018
国际专利分类:
G01B 11/24 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01)
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
11
以采用光学方法为特征的计量设备
24
用于计量轮廓或曲率
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
11
以采用光学方法为特征的计量设备
02
用于计量长度、宽度或厚度
06
用于计量厚度
申请人:
東レエンジニアリング株式会社 TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都中央区八重洲1丁目3番22号(八重洲龍名館ビル) Yaesu Ryumeikan Bldg., 3-22, Yaesu 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030028, JP
发明人:
大槻 真左文 OTSUKI, Masafumi; JP
优先权数据:
2017-18467026.09.2017JP
标题 (EN) CHARACTERISTIC EVALUATION DEVICE FOR APPLIED DROPLET
(FR) DISPOSITIF D’ÉVALUATION DE CARACTÉRISTIQUES POUR L’APPLICATION DE GOUTTELETTES
(JA) 塗布液滴の特性評価装置
摘要:
(EN) Provided is a characteristic evaluation device for evaluating characteristics of droplets being applied by accurately determining the three-dimensional shape change of the applied droplets over time during a drying process. Specifically, this characteristic evaluation device is for evaluating characteristics of applied droplets by determining the three-dimensional shape change of the applied droplets over time during a drying process, and is provided with: a droplet shape measurement unit that measures the three-dimensional shapes of the applied droplets by using an optical interference method based on a plurality of wavelengths; a temporal droplet shape recording unit that records the temporal droplet shape while linking together the three-dimensional shapes of the applied droplets measured by the droplet shape measurement unit and the time at which the three-dimensional shapes of the applied droplets are measured; and a characteristic evaluation unit that evaluates the characteristics of the applied droplets on the basis of a plurality of temporal droplet shapes measured at different times and recorded in the temporal droplet shape recording unit.
(FR) L’invention concerne un dispositif d’évaluation de caractéristiques servant à évaluer les caractéristiques de gouttelettes appliquées en déterminant avec précision le changement de la forme tridimensionnelle de gouttelettes appliquées au fil du temps au cours d’un processus de séchage. Ce dispositif d’évaluation de caractéristiques sert en particulier à évaluer les caractéristiques de gouttelettes appliquées en déterminant le changement de la forme tridimensionnelle de gouttelettes appliquées au fil du temps au cours d’un processus de séchage, et comprend : une unité de mesure de forme de gouttelette, qui mesure les formes tridimensionnelles des gouttelettes appliquées en utilisant un procédé d’interférence optique reposant sur l’utilisation d’une pluralité de longueurs d’onde ; une unité d’enregistrement de formes temporelles de gouttelettes, qui enregistre la forme temporelle des gouttelettes tout en reliant les formes tridimensionnelles des gouttelettes appliquées mesurées par l’unité de mesure de forme de gouttelette aux instants auxquels les formes tridimensionnelles des gouttelettes appliquées sont mesurées ; et une unité d’évaluation de caractéristiques qui évalue les caractéristiques des gouttelettes appliquées à partir d’une pluralité de formes temporelles de gouttelettes mesurées à différents instants et enregistrées dans l’unité d’enregistrement de formes temporelles de gouttelettes.
(JA) 乾燥過程における塗布液滴の経時三次元形状変化を正確に捉え、当該塗布液滴が有する特性を評価する特性評価装置を提供すること。 具体的には、塗布液滴の時間経過に伴う乾燥過程における三次元形状変化を捉えることで当該塗布液滴が有する特性を評価する特性評価装置であって、 複数波長による光干渉法を用いて当該塗布液滴の三次元形状を測定する液滴形状測定部と、 液滴形状測定部で測定した塗布液滴の三次元形状と、当該塗布液滴の三次元形状を測定した時刻とを紐付けた、経時液滴形状を記録する経時液滴形状記録部と、 経時液滴形状記録部に記録された、測定時刻の異なる複数の経時液滴形状に基づいて、当該塗布液滴が有する特性を評価する特性評価部とを備えた、塗布液滴の特性評価装置。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 日语 (JA)
申请语言: 日语 (JA)