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1. (WO2019050659) HIGH QUALITY FACTOR MEMS SILICON HINGE AND SLOT-CUT RESONATOR FOR A VIBRATORY GYROSCOPE
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公布号: WO/2019/050659 国际申请号: PCT/US2018/046559
公布日: 14.03.2019 国际申请日: 13.08.2018
国际专利分类:
G01C 19/5684 (2012.01) ,G01M 7/02 (2006.01)
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
19
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
567
利用振动节点或波腹的相位移动
5677
本质上的二维振动器,如环形振动器
5684
包含微机械结构的设备
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
7
结构部件的振动测试;结构部件的冲击测试
02
振动测试
申请人:
HRL LABORATORIES, LLC [US/US]; 3011 Malibu Canyon Road Malibu, California 90265-4799, US
发明人:
HUANG, Lian X.; US
SORENSON, Logan D.; US
CHANG, Chia-ming "Gavin"; US
PERAHIA, Raviv; US
NGUYEN, Hung; US
CHANG, David T.; US
代理人:
LUSINCHI, Laurent P.; US
BERG, Richard P.; US
TOWER, Lee W.; US
GALLENSON, Mavis S.; US
KOBZEFF, Joseph M.; US
优先权数据:
62/555,61707.09.2017US
标题 (EN) HIGH QUALITY FACTOR MEMS SILICON HINGE AND SLOT-CUT RESONATOR FOR A VIBRATORY GYROSCOPE
(FR) CHARNIÈRE EN SILICIUM MEMS À FACTEUR DE QUALITÉ ÉLEVÉ ET RÉSONATEUR À FENTE COUPÉE POUR GYROSCOPE VIBRANT
摘要:
(EN) A resonant structure comprising at least two coaxial rings, wherein adjacent coaxial rings have adjacent peripheries and are attached together by a plurality of connection structures regularly arranged along said adjacent peripheries; and wherein a first ring has a first ring portion with a first radial thickness and a second ring portion, in a vicinity of a first connection structure, with a second radial thickness smaller than said first radial thickness.
(FR) La présente invention concerne une structure résonante qui comprend au moins deux anneaux coaxiaux, des anneaux coaxiaux adjacents ayant des périphéries adjacentes et étant fixés conjointement par une pluralité de structures de raccordement agencées de façon régulière le long desdites périphéries adjacentes ; et un premier anneau ayant une première partie annulaire avec une première épaisseur radiale et une deuxième partie annulaire, à proximité d’une première structure de raccordement, ayant une deuxième épaisseur radiale inférieure à ladite première épaisseur radiale.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)