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1. (WO2019048506) TRAINING METHODS FOR MACHINE LEARNING ASSISTED OPTICAL PROXIMITY ERROR CORRECTION
国际局存档的最新著录项目数据提交意见

公布号: WO/2019/048506 国际申请号: PCT/EP2018/073914
公布日: 14.03.2019 国际申请日: 05.09.2018
国际专利分类:
G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 1/36 (2012.01) ,G06F 17/50 (2006.01) ,G06N 99/00
G PHYSICS
03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
7
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
20
曝光及其设备
G PHYSICS
03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
1
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
36
具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G PHYSICS
06
计算;推算;计数
F
电数字数据处理
17
特别适用于特定功能的数字计算设备或数据处理设备或数据处理方法
50
计算机辅助设计
G PHYSICS
06
计算;推算;计数
N
基于特定计算模型的计算机系统
99
本小类其他各组中不包括的技术主题
申请人:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
发明人:
SU, Jing; US
LU, Yen-Wen; US
LUO, Ya; US
代理人:
PETERS, John; NL
优先权数据:
62/556,24608.09.2017US
62/725,73431.08.2018US
标题 (EN) TRAINING METHODS FOR MACHINE LEARNING ASSISTED OPTICAL PROXIMITY ERROR CORRECTION
(FR) PROCÉDÉS D'APPRENTISSAGE DE CORRECTION OPTIQUE D'ERREUR DE PROXIMITÉ ASSISTÉE PAR APPRENTISSAGE AUTOMATIQUE
摘要:
(EN) A method including: obtaining an optical proximity correction for a spatially shifted version of a training design pattern (5000); and training a machine learning model (5200) configured to predict optical proximity corrections for design patterns using data (5051; 5053) regarding the spatially shifted version of the training design pattern and data (5041; 5043) based on the optical proximity corrections for the spatially shifted version of the training design pattern.
(FR) L'invention concerne un procédé qui comprend les étapes suivantes : obtention d'une correction optique de proximité pour une version décalée dans l'espace d'un motif de conception d'apprentissage (5000); et apprentissage d'un modèle d'apprentissage automatique (5200) configuré afin de prédire des corrections optiques de proximité pour des motifs de conception à l'aide de données (5051; 5053) concernant la version décalée dans l'espace du motif de conception d'apprentissage et des données (5041; 5043) sur la base des corrections optiques de proximité pour la version décalée dans l'espace du motif de conception d'apprentissage.
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)