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1. (WO2019047464) 蒸镀机
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说明书

发明名称 0001   0002   0003   0004   0005   0006   0007   0008   0009   0010   0011   0012   0013   0014   0015   0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034  

权利要求书

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10  

附图

1   2   3  

说明书

发明名称 : 蒸镀机

[0001]
本发明要求2017年9月11日递交的发明名称为“蒸镀机”的申请号201710812416.7的在先申请优先权,上述在先申请的内容以引入的方式并入本文本中。

技术领域

[0002]
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种蒸镀机。

背景技术

[0003]
目前,蒸镀制程作为一种制程方式主要使用在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)的有机层及电机层的制作,具有制作流程简单、制作精度高、膜的平坦度小的特点,但是目前蒸镀技术均是对一个基板进行蒸镀,蒸镀范围和质量有一定的局限性,例如很难制作比现有蒸镀产品尺寸大的产品。
[0004]
发明内容
[0005]
本发明提供一种蒸镀机,用以分区域蒸镀以解决蒸镀范围受限制的技术问题。
[0006]
本发明提供一种蒸镀机,用于对玻璃基板的蒸镀,所述蒸镀机包括真空蒸镀腔、以及收容于所述真空蒸镀腔内的蒸镀源、金属掩膜板、移动部以及托架,所述托架装设于所述移动部上,所述金属掩膜板被支撑于所述托架下方并位于所述蒸镀源上方可相对所述托架移动,所述玻璃基板吸附于所述托架朝向所述金属掩膜的表面并与所述金属掩膜板之间留有间隙,所述玻璃基板至少包括两个蒸镀区域,所述移动部带动所述托架移动,进而带动所述玻璃基板相对于所述金属掩膜板移动,以使所述玻璃基板的所述蒸镀区域与所述金属掩膜板的位置对应。
[0007]
其中,所述蒸镀机还包括被支撑于所述金属掩膜板下方的与所述蒸镀源正对的挡板,所述挡板用于控制所述蒸镀源的蒸镀范围。
[0008]
其中,所述挡板包括第一板体、第二板体以及导轮,所述导轮与所述第一板体以及所述第二板体滑动连接,所述第一板体朝向所述蒸镀源的位置设置有通槽,所述第二板体用于盖合所述通槽或滑开所述通槽。
[0009]
其中,所述托架包括两组相对设置的架框,其中一组所述架框的中部位置设置有一架臂,所述架框以及所述架臂吸附所述玻璃基板的表面设有真空孔,通过真空装置充气至所述真空孔以吸附所述玻璃基板。
[0010]
其中,所述移动部包括第一丝杆、连接于所述第一丝杆的第一驱动件、与所述第一丝杆垂直设置的第二丝杆以及连接于所述第二丝杆的第二驱动件,所述托架与所述第一丝杆滑动连接,所述第一驱动件驱动所述第一丝杆以及所述托架移动,所述第一丝杆连接所述第二丝杆,所述第二驱动件驱动所述第二丝杆带动所述第一丝杆及所述托架移动。
[0011]
其中,所述第一驱动件以及所述第二驱动件可以为气缸或者马达。
[0012]
其中,所述蒸镀机还包括相对所述金属掩膜板设置的影像采集装置及支架,所述影像采集装置支撑于所述支架上,所述影像采集装置对所述玻璃基板的所述蒸镀区域与所述金属掩膜进行对位。
[0013]
其中,所述蒸镀源包括加热器、坩埚以及蒸镀材料,所述坩埚的顶面设置有通孔,所述蒸镀材料装设于所述坩埚中并可通过所述通孔到达所述玻璃基板的所述蒸镀区域,所述加热器用于加热所述蒸镀材料。
[0014]
其中,所述真空蒸镀腔具有一真空管,所述真空管用于抽走所述真空蒸镀腔内的空气。
[0015]
其中,所述蒸镀机还包括控制装置,所述控制装置用于控制所述第一驱动件、所述第二驱动件以及所述影像采集装置的启动以及关闭。
[0016]
综上所述,本发明的蒸镀机通过所述玻璃基板的步进式移动,可以实现对所述玻璃基板所有蒸镀区域的蒸镀,进而解决蒸镀区域受限制的技术问题,可以实现蒸镀比现有蒸镀产品尺寸大的产品。

附图说明

[0017]
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述 中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]
图1是本发明蒸镀机的结构示意图。
[0019]
图2是图1中托架的结构示意图。
[0020]
图3是图1中挡板的结构示意图。

具体实施方式

[0021]
请参阅图1,本发明提供一种蒸镀机,用于对玻璃基板1的蒸镀,所述蒸镀机包括真空蒸镀腔2以及收容于所述真空蒸镀腔2内的蒸镀源3、金属掩膜板4、移动部5以及托架6,所述托架6装设于所述移动部5上,所述金属掩膜板4被支撑于所述托架6下方并位于所述蒸镀源3上方并可相对所述托架6移动,所述玻璃基板1吸附于所述托架6朝向所述金属掩膜板4的表面并与所述金属掩膜板4之间留有间隙,所述玻璃基板1至少包括两个蒸镀区域,所述移动部5带动所述托架6移动,进而带动所述玻璃基板1相对于所述金属掩膜板4移动,以使所述玻璃基板1的蒸镀区域与所述金属掩膜板4的位置对应。
[0022]
所述蒸镀源3包括加热器31、坩埚32以及蒸镀材料33,所述坩埚32的顶面设置有通孔321,所述蒸镀材料33装设于所述坩埚32中并可通过所述通孔321到达所述玻璃基板1的所述蒸镀区域。所述蒸镀材料33为小分子材料或者金属材料,用于在所述玻璃基板1上形成膜层;所述坩埚32由耐高温材料制作而成,用于所述蒸镀材料33的存放;所述加热器31用于将所述蒸镀材料33加热至蒸汽状态。
[0023]
本实施例中,所述金属掩膜板4由金属材料制作而成,具有一个或至少2个镂空的图形,所述蒸汽状态的所述蒸镀材料可以通过所述通孔321并穿过所述金属掩膜板4的所述镂空的图形到达所述玻璃基板1的所述蒸镀区域,进而在所述玻璃基板1上形成有图形的膜层。
[0024]
所述玻璃基板1具有至少两个蒸镀区域,所述蒸镀源3对每一所述蒸镀区域单独进行蒸镀,在完成一个区域的蒸镀后,所述移动部5带动所述托架6移动,使另一蒸镀区域与所述金属掩膜板4对应,所述蒸镀源3对所述另一蒸镀区域蒸镀,重复上述步骤,依次完成所有蒸镀区域的蒸镀。其有益效果为: 通过所述移动部5带动所述托架6移动,可以实现对所述玻璃基板1的每一个蒸镀区域完成蒸镀,进而解决蒸镀区域受限制的技术问题,可以制作比现有蒸镀产品尺寸大的蒸镀产品。
[0025]
本实施例中,所述移动部5包括第一丝杆51、连接于所述第一丝杆的第一驱动件52、与所述第一丝杆51垂直设置的第二丝杆53以及连接于所述第二丝杆53的第二驱动件54,所述托架6与所述第一丝杆51滑动连接,所述第一驱动件52驱动所述第一丝杆51以及所述托架6移动,所述第一丝杆51连接所述第二丝杆53,所述第二驱动件54驱动所述第二丝杆53带动所述第一丝杆51及所述托架6移动。具体为,在蒸镀所述玻璃基板1第一方向的蒸镀区域时,当完成所述玻璃基板1一个区域的蒸镀后,所述第一驱动件52驱动所述第一丝杆51及所述托架6移动,进而带动所述玻璃基板1到达所述第一方向的另一个蒸镀区域,完成所述另一个蒸镀区域的蒸镀;在第二方向对所述蒸镀区域进行蒸镀时,在完成所述玻璃基板1的一个区域蒸镀后,所述第二驱动件54驱动所述第二丝杆53带动所述第一丝杆51及所述托架6移动,进而带动所述玻璃基板1到达所述第二方向的另一个蒸镀区域,完成所述另一个蒸镀区域的蒸镀,重复上述步骤,从而完成所述玻璃基板1的所有蒸镀区域的蒸镀。所述第一方向为与所述第一丝杆51平行的方向,所述第二方向为与所述第一方向垂直的方向。
[0026]
所述第一驱动件52以及所述第二驱动件54可以是气缸或者马达。
[0027]
请参阅图2,所述托架6包括两组相对设置的架框61,其中一组所述架框61的中部位置设置有一架臂62,所述架框61以及所述架臂62吸附所述玻璃基板1的表面设有真空孔63,通过真空装置充气至所述真空孔63以吸附所述玻璃基板1。其有益效果在于:通过一组所述架框61中部位置设置的所述架臂62,可以进一步支撑和吸附所述玻璃基板1,减少由于所述金属掩膜板4或所述玻璃基板1变形的位置偏差,进而在制作比现有技术尺寸大的蒸镀产品时,可以避免所述蒸镀区域蒸镀不均匀的技术问题,可以解决蒸镀范围受限制的技术问题,实现蒸镀比现有技术尺寸大的蒸镀产品,且所述蒸镀产品的所有蒸镀区域蒸镀均匀。
[0028]
请参阅图3,所述蒸镀机还包括被支撑于所述金属掩膜板下方的挡板7, 所述挡板7用于控制所述蒸镀源3的蒸镀范围。所述挡板7包括第一板体71、第二板体72以及导轮73,所述导轮73与所述第一板体71以及所述第二板体72滑动连接,所述第一板体71朝向所述蒸镀源3上方的位置设置有通槽711,所述第二板体72用于盖合所述通槽711或滑开所述通槽711。
[0029]
本实施例中,所述导轮73设于所述第二板体72的相对两侧周缘,所述第一板体71的相对两侧周缘设有两条并行设置的滑轨凹槽712,所述滑轨凹槽712与所述导轮73相对应,且所述滑轨凹槽712的延伸方向与所述导轮73的行进方向平行,所述导轮73沿所述滑轨凹槽712滑动地安装于所述滑轨凹槽712内。具体为,所述玻璃基板1的一个蒸镀区域蒸镀时,所述第二板体72滑开所述通槽711,使所述蒸镀源3与所述金属掩膜板4相对应,进而使所述蒸镀材料33可以通过所述通槽711达到所述金属掩膜板4;所述玻璃基板1的所述蒸镀区域完成蒸镀时,所述第二板体盖合所述通槽711,避免所述蒸镀材料33到达所述玻璃基板1的非蒸镀区域,进而避免在蒸镀比现有蒸镀产品尺寸大的蒸镀产品时,由于蒸镀的的不均匀而造成蒸镀产品的不均匀,从而进一步保证所有蒸镀区域蒸镀均匀。
[0030]
请继续参阅图1,所述蒸镀机还包括相对所述金属掩膜板4设置的影像采集装置8以及支架,所述影像采集装置8支撑于支架上;所述影像采集装置8对所述玻璃基板1的所述蒸镀区域与所述金属掩膜板4进行对位。具体为,在所述金属掩膜板4与所述玻璃基板1实现第一次对位后,所述影像采集装置8采集所述金属掩膜板4与所述玻璃基板1的标记图像,进而实现所述玻璃基板1的所述蒸镀区域与所述金属掩膜板4的进一步对位。
[0031]
进一步地,所述蒸镀机还包括处理装置,所述处理装置连接于所述影像采集装置8,且所述处理装置可以根据所述影像采集装置8的采集结果计算所述金属掩膜板4与所述玻璃基板1的所述蒸镀区域的偏移量,并将所述偏移量传送至所述第一驱动件52以及所述第二驱动件54,所述第一驱动件52驱动所述第一丝杆51带动托架6移动,进而带动所述玻璃基板1移动;所述第二驱动件54驱动所述第二丝杆53带动所述第一丝杆51及所述托架6移动,进而带动所述玻璃基板1移动,从而实现调节所述玻璃基板1相对所述金属掩膜板4的位置。
[0032]
所述蒸镀机还包括控制装置,所述控制装置用于控制所述第一驱动件52、所述第二驱动件54以及所述影像采集装置8的启动以及关闭。具体为,当所述玻璃基板1的一个蒸镀区域与所述金属掩膜板4对位时,所述控制装置控制所述第一驱动件52、所述第二驱动件54及所述影像采集装置8启动,所述玻璃基板1的一个蒸镀区域与所述金属掩膜板4对位完成时,所述第一驱动件52、所述第二驱动件54及所述影像采集装置8关闭。当所述玻璃基板1的一个蒸镀区域完成蒸镀,另一个蒸镀区域蒸镀时,所述第一驱动件52、所述第二驱动件54及所述影像采集装置8启动,所述玻璃基板1的另一个蒸镀区域与所述金属掩膜板4对位完成时,所述第一驱动件52、所述第二驱动件54及所述影像采集装置8关闭。重复上述步骤,至所述蒸镀区域完成蒸镀。
[0033]
在本实施例中,所述蒸镀机真空蒸镀腔的腔壁还具有一真空管9,所述真空管9用于抽走所述真空蒸镀腔2内的空气。
[0034]
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本发明权利要求所作的等同变化,仍属于发明所涵盖的范围。

权利要求书

[权利要求 1]
一种蒸镀机,用于对玻璃基板的蒸镀,其中,所述蒸镀机包括真空蒸镀腔、以及收容于所述真空蒸镀腔内的蒸镀源、金属掩膜板、移动部以及托架,所述托架装设于所述移动部上,所述金属掩膜板被支撑于所述托架下方并位于所述蒸镀源上方可相对所述托架移动,所述玻璃基板吸附于所述托架朝向所述金属掩膜的表面并与所述金属掩膜板之间留有间隙,所述玻璃基板至少包括两个蒸镀区域,所述移动部带动所述托架移动,进而带动所述玻璃基板相对于所述金属掩膜板移动,以使所述玻璃基板的所述蒸镀区域与所述金属掩膜板的位置对应。
[权利要求 2]
根据权利要求1所述的蒸镀机,其中,所述蒸镀机还包括被支撑于所述金属掩膜板下方的与所述蒸镀源正对的挡板,所述挡板用于控制所述蒸镀源的蒸镀范围。
[权利要求 3]
根据权利要求2所述的蒸镀机,其中,所述挡板包括第一板体、第二板体以及导轮,所述导轮与所述第一板体以及所述第二板体滑动连接,所述第一板体朝向所述蒸镀源的位置设置有通槽,所述第二板体用于盖合所述通槽或滑开所述通槽。
[权利要求 4]
根据权利要求1所述的蒸镀机,其中,所述托架包括两组相对设置的架框,其中一组所述架框的中部位置设置有一架臂,所述架框以及所述架臂吸附所述玻璃基板的表面设有真空孔,通过真空装置充气至所述真空孔以吸附所述玻璃基板。
[权利要求 5]
根据权利要求1所述的蒸镀机,其中,所述移动部包括第一丝杆、连接于所述第一丝杆的第一驱动件、与所述第一丝杆垂直设置的第二丝杆以及连接于所述第二丝杆的第二驱动件,所述托架与所述第一丝杆滑动连接,所述第一驱动件驱动所述第一丝杆以及所述托架移动,所述第一丝杆连接所述第二丝杆,所述第二驱动件驱动所述第二丝杆带动所述第一丝杆及所述托架移动。
[权利要求 6]
根据权利要求5所述的蒸镀机,其中,所述第一驱动件以及所述第二驱动件可以为气缸或者马达。
[权利要求 7]
根据权利要求6所述的蒸镀机,其中,所述蒸镀机还包括相对所述金属 掩膜板设置的影像采集装置及支架,所述影像采集装置支撑于所述支架上,所述影像采集装置对所述玻璃基板的所述蒸镀区域与所述金属掩膜进行对位。
[权利要求 8]
根据权利要求1所述的蒸镀机,其中,所述蒸镀源包括加热器、坩埚以及蒸镀材料,所述坩埚的顶面设置有通孔,所述蒸镀材料装设于所述坩埚中并可通过所述通孔到达所述玻璃基板的所述蒸镀区域,所述加热器用于加热所述蒸镀材料。
[权利要求 9]
根据权利要求1所述的蒸镀机,其中,所述真空蒸镀腔具有一真空管,所述真空管用于抽走所述真空蒸镀腔内的空气。
[权利要求 10]
根据权利要求7所述的蒸镀机,其中,所述蒸镀机还包括控制装置,所述控制装置用于控制所述第一驱动件、所述第二驱动件以及所述影像采集装置的启动以及关闭。

附图

[ 图 1]  
[ 图 2]  
[ 图 3]