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1. (WO2019046631) GLASSY CARBON PROBE AND MICROFABRICATION METHOD
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公布号: WO/2019/046631 国际申请号: PCT/US2018/048938
公布日: 07.03.2019 国际申请日: 30.08.2018
国际专利分类:
A61B 5/02 (2006.01) ,A61B 5/0492 (2006.01) ,A61B 17/74 (2006.01) ,G01R 1/06 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01) ,H01L 21/768 (2006.01)
A 人类生活必需
61
医学或兽医学;卫生学
B
诊断;外科;鉴定
5
用于诊断目的的测量;人的辨识
02
测量脉搏、心率、血压或血流;综合的脉搏/心率/血压的测定;其他不是用于测定心血管状况的,如使用本小组技术与心电图术结合的;测量血压的心导管
A 人类生活必需
61
医学或兽医学;卫生学
B
诊断;外科;鉴定
5
用于诊断目的的测量;人的辨识
04
测量人体或人体各部分的生物电信号
0488
肌电图术
0492
专门适用于肌电图术的电极,例如针电极
A 人类生活必需
61
医学或兽医学;卫生学
B
诊断;外科;鉴定
17
外科器械、装置或方法,例如止血带
56
治疗骨或关节的装置或方法;其专用设备
58
用于接骨的,例如接骨板、接骨螺钉或类似物
68
内固定器
74
用于股骨头的装置
G PHYSICS
01
用于测量的传感器,如敏感元件
R
测量电变量;测量磁变量
1
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件
02
一般结构零部件
06
测量引线;测量探针
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
02
半导体器件或其部件的制造或处理
04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
18
器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体,如掺杂材料
30
用H01L 21/20至H01L 21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的
31
在半导体材料上形成绝缘层的,例如用于掩膜的或应用光刻技术的;以及这些层的后处理;这些层的材料的选择
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
71
限定在组H01L 21/70中的器件的特殊部件的制造
768
利用互连在器件中的分离元件间传输电流
申请人:
SAN DIEGO STATE UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION [US/US]; 5500 Campanile Drive SSE 1410B San Diego, CA 92182-8220, US
发明人:
KASSEGNE, Sanuel, K.; US
NIMBALKAR, Surabhi; US
BALASUBRAMANI, Arvind; US
代理人:
MATHEWS, Glen, T.; US
LISA, Adams; US
AZRIN, Linda, B.; US
AMENDT, Kevin, C.; US
BAUER, John, A.; US
优先权数据:
62/552,30430.08.2017US
标题 (EN) GLASSY CARBON PROBE AND MICROFABRICATION METHOD
(FR) SONDE EN CARBONE VITREUX ET PROCÉDÉ DE MICROFABRICATION
摘要:
(EN) A probe device is disclosed that includes one or more insulating layers and a glassy carbon layer. The glassy carbon layer includes one or more channels. Each channel includes a microstructure, which may include an electrode region, interconnect region, and bump pad region. The electrode region may be placed in contact with a human or animal patient or test subject and used to collect or deliver signals in applications such as electrocorticography (ECoG), electromyography (EMG), and neural stimulation. A method of making a probe includes depositing a glassy carbon precursor on a substrate, patterning the precursor using photolithography, pyrolyzing the precursor to allow the formation of glassy carbon, and depositing one or more insulating layers.
(FR) L'invention concerne un dispositif sonde qui comprend une ou plusieurs couches isolantes et une couche de carbone vitreux. La couche de carbone vitreux comprend un ou plusieurs canaux. Chaque canal comprend une microstructure, qui peut comprendre une région d'électrode, une région d'interconnexion et une région de plot en bosse. La région d'électrode peut être placée en contact avec un patient humain ou animal ou un sujet de test et utilisée pour collecter ou délivrer des signaux dans des applications telles que l'électrocorticographie (ECoG), l'électromyographie (EMG) et la stimulation neuronale. Un procédé de fabrication d'une sonde comprend le dépôt d'un précurseur de carbone vitreux sur un substrat, la formation de motifs du précurseur à l'aide de la photolithographie, la pyrolyse du précurseur pour permettre la formation de carbone vitreux, et le dépôt d'une ou de plusieurs couches isolantes.
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非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)