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1. (WO2019045204) BOAT DEVICE
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公布号: WO/2019/045204 国际申请号: PCT/KR2018/001323
公布日: 07.03.2019 国际申请日: 31.01.2018
国际专利分类:
H01L 21/673 (2006.01) ,H01L 31/18 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
673
使用专用的载体的
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
31
对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件
18
专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备
申请人:
HANWHA CORPORATION [KR/KR]; 86, Cheonggyecheon-ro Jung-gu Seoul 04541, KR
发明人:
LEE, Hyun Ho; KR
KIM, Young Gi; KR
PARK, Sang Tae; KR
代理人:
TW INTERNATIONAL PATENT AND LAWFIRM; 13F 114, Yeoksam-ro Gangnam-gu Seoul 06252, KR
优先权数据:
10-2017-011203901.09.2017KR
标题 (EN) BOAT DEVICE
(FR) HYDROGLISSEUR
摘要:
(EN) The present invention discloses a boat device, comprising: a plate portion including mutually adjacent first and second plates, where a wafer is attached and detached in an empty gap between each plate; and a pin provided at each plate to support an outside of the wafer; wherein the pin is provided with at least three pins including a first pin, a second pin and a third pin relative to one wafer.
(FR) La présente invention concerne un hydroglisseur, comprenant : une partie plaque comprenant des première et seconde plaques mutuellement adjacentes, une tranche étant fixée et détachée dans un espace vide entre chaque plaque ; et une broche disposée au niveau de chaque plaque pour supporter un extérieur de la tranche ; la broche comprenant au moins trois broches comprenant une première broche, une seconde broche et une troisième broche par rapport à une tranche.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)