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1. (WO2019044530) THINNED PLATE MEMBER PRODUCTION METHOD AND PRODUCTION DEVICE
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公布号: WO/2019/044530 国际申请号: PCT/JP2018/030458
公布日: 07.03.2019 国际申请日: 17.08.2018
国际专利分类:
H01L 21/304 (2006.01) ,B23K 26/53 (2014.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
02
半导体器件或其部件的制造或处理
04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
18
器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体,如掺杂材料
30
用H01L 21/20至H01L 21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的
302
改变半导体材料的表面物理特性或形状的,例如腐蚀、抛光、切割
304
机械处理,例如研磨、抛光、切割
[IPC code unknown for B23K 26/53]
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
683
用于支承或夹紧的
申请人:
リンテック株式会社 LINTEC CORPORATION [JP/JP]; 東京都板橋区本町23番23号 23-23, Honcho, Itabashi-ku, Tokyo 1730001, JP
发明人:
泉 直史 IZUMI Naofumi; JP
山下 茂之 YAMASHITA Shigeyuki; JP
代理人:
特許業務法人樹之下知的財産事務所 KINOSHITA & ASSOCIATES; 東京都杉並区荻窪五丁目26番13号 3階 3rd Floor, 26-13, Ogikubo 5-chome, Suginami-ku, Tokyo 1670051, JP
优先权数据:
2017-16977604.09.2017JP
标题 (EN) THINNED PLATE MEMBER PRODUCTION METHOD AND PRODUCTION DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION ET DISPOSITIF DE PRODUCTION D'ÉLÉMENT DE PLAQUE AMINCIE
(JA) 薄型化板状部材の製造方法、及び製造装置
摘要:
(EN) This thinned plate member production method comprises: a step for attaching a first adhesion surface (AT11) of a first double-sided adhesive sheet (AT1) to a support surface (111) of a first hard support body (110), and attaching a second adhesion surface (AT12) to the entire first surface (WF1) of a plate member (WF); a step for forming a boundary layer (CR) inside the plate member (WF); a step for attachably/detachably fixing a first holding means (130) and the first hard support body (110) so as to locate the first holding means (130) on the opposite side of the plate member (WF) with the first hard support body (110) interposed therebetween; a step for holding the plate member (WF) from a second surface (WF2) side by means of a second holding means (160); and a step of relatively moving the first holding means (130) and the second holding means (160) so as to divide, at the boundary layer (CR) as a boundary, the plate member (WF) into a first thinned plate member having the first surface (WF1) and a second thinned plate member having the second surface (WF2).
(FR) Cette invention concerne un procédé de production d'élément de plaque amincie, comprenant : une étape consistant à fixer une première surface d'adhérence (AT11) d'une première feuille adhésive double face (AT1) à une surface de support (111) d'un premier corps de support dur (110), et à fixer une seconde surface d'adhérence (AT12) à la totalité de la première surface (WF1) d'un élément de plaque (WF) ; une étape consistant à former une couche limite (CR) à l'intérieur de l'élément de plaque (WF) ; une étape consistant à fixer de manière fixe/amovible de premiers moyens de retenue (130) et le premier corps de support dur (110) de façon à positionner les premiers moyens de retenue (130) sur le côté opposé de l'élément de plaque (WF) avec le premier corps de support dur (110) interposé entre ceux-ci ; une consistant à retenir l'élément de plaque (WF) à partir d'un côté de seconde surface (WF2) au moyen de seconds moyens de retenue (160) ; et une étape consistant à déplacer relativement les premiers moyens de retenue (130) et les seconds moyens de retenue (160) de façon à séparer, au niveau de la couche limite (CR) en tant que limite, l'élément de plaque (WF) en un premier élément de plaque amincie ayant la première surface (WF1) et un second élément de plaque amincie ayant la seconde surface (WF2).
(JA) 薄型化板状部材の製造方法は、第1硬質支持体(110)の支持面(111)に第1両面接着シート(AT1)の第1接着面(AT11)を貼付し、板状部材(WF)の第1表面(WF1)全体に第2接着面(AT12)を貼付する工程と、前記板状部材(WF)の内部に境界層(CR)を形成する工程と、第1硬質支持体(110)を挟んで前記板状部材(WF)の反対側に第1保持手段(130)が位置するように、前記第1保持手段(130)と第1硬質支持体(110)とを着脱自在に固定する工程と、第2保持手段(160)で前記板状部材(WF)を第2表面(WF2)側から保持する工程と、前記境界層(CR)を境にして、前記板状部材(WF)を、第1表面(WF1)を有する第1薄型化板状部材、及び第2表面(WF2)を有する第2薄型化板状部材に分割するように、前記第1保持手段(130)と前記第2保持手段(160)とを相対移動させる工程とを備えている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 日语 (JA)
申请语言: 日语 (JA)