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1. (WO2019043947) ETCHING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE
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公布号: WO/2019/043947 国际申请号: PCT/JP2017/031799
公布日: 07.03.2019 国际申请日: 04.09.2017
国际专利分类:
H05B 33/10 (2006.01) ,H01L 27/32 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01) ,H05B 33/02 (2006.01)
H 电学
05
其他类目不包含的电技术
B
电热;其他类目不包含的电照明
33
电致发光光源
10
专门适用于制造电致发光光源的设备或方法
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
27
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
28
包括使用有机材料作为有源部分,或使用有机材料与其他材料的组合作为有源部分的组件
32
具有专门适用于光发射的组件,例如使用有机发光二极管的平板显示器
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
51
使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
50
专门适用于光发射的,如有机发光二极管 (OLED)或聚合物发光器件(PLED)
H 电学
05
其他类目不包含的电技术
B
电热;其他类目不包含的电照明
33
电致发光光源
02
零部件
申请人:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
发明人:
谷山 博己 TANIYAMA, Hiroki; --
岡部 達 OKABE, Tohru; --
齋田 信介 SAIDA, Shinsuke; --
市川 伸治 ICHIKAWA, Shinji; --
郡司 遼佑 GUNJI, Ryosuke; --
仲田 芳浩 NAKADA, Yoshihiro; --
井上 彬 INOUE, Akira; --
神村 浩治 JINMURA, Hiroharu; --
代理人:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
优先权数据:
标题 (EN) ETCHING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GRAVURE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE
(JA) エッチング装置、および表示装置の製造方法
摘要:
(EN) An etching device (1) is provided with: a chemical treatment tank (20), in which a substrate (2) is transferred; and a jetting section (21), which is disposed in the chemical treatment tank (20), and which has a blowout port (22) facing the direction not intersecting the surface of the substrate (2), said jetting section jetting a mist-like etchant chemical (22) through the blowout port (22).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de gravure qui est pourvu : d'un réservoir de traitement chimique (20), dans lequel un substrat (2) est transféré ; et d'une section de projection (21), qui est disposée dans le réservoir de traitement chimique (20), et qui a un orifice de soufflage (22) faisant face à la direction ne croisant pas la surface du substrat (2), ladite section de projection projetant un produit chimique d'agent de gravure de type brume (22) à travers l'orifice de soufflage (22).
(JA) エッチング装置(1)は、内部で基板(2)が搬送される薬液処理槽(20)と、薬液処理槽(20)の内部に配置され、基板(2)の表面と交わらない方向に向く吹き出し口(22)を有し、かつ吹き出し口(22)を通じて霧状のエッチャント薬液(22)を噴射する噴射部(21)とを備えている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 日语 (JA)
申请语言: 日语 (JA)