此应用程序的某些内容目前无法使用。
如果这种情况持续存在,请联系我们反馈与联系
1. (WO2019031480) SURFACE MODIFICATION DEVICE
国际局存档的最新著录项目数据提交意见

公布号: WO/2019/031480 国际申请号: PCT/JP2018/029541
公布日: 14.02.2019 国际申请日: 07.08.2018
第2章国际初步审查要求书已提交: 01.03.2019
国际专利分类:
B01J 19/08 (2006.01) ,H05H 1/24 (2006.01)
B 作业;运输
01
一般的物理或化学的方法或装置
J
化学或物理方法,如催化作用;及其设备
19
化学的,物理的,或物理—化学的一般方法;;及其有关设备
08
利用直接应用电能,波能或粒子辐射的方法;其所用设备
H 电学
05
其他类目不包含的电技术
H
等离子体技术;加速的带电粒子或中子的产生;中性分子或原子射束的产生或加速
1
等离子体的产生;等离子体的处理
24
等离子体的产生
申请人:
春日電機株式会社 KASUGA DENKI, INC. [JP/JP]; 神奈川県川崎市幸区新川崎2番4号 2-4, Shinkawasaki Saiwai-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2120032, JP
发明人:
杉村 智 SUGIMURA Satoshi; JP
小木曽 智 OGISO Satoru; JP
櫻井 行平 SAKURAI Yukihira; JP
吉田 純也 YOSHIDA Junya; JP
森下 貴生 MORISHITA Takao; JP
代理人:
嶋 宣之 SHIMA Nobuyuki; JP
优先权数据:
2017-15418509.08.2017JP
标题 (EN) SURFACE MODIFICATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MODIFICATION DE SURFACE
(JA) 表面改質装置
摘要:
(EN) [Problem] To provide a surface modification device that achieves the desired surface modification while keeping the amount of substitution gas that is supplied low. [Solution] This surface modification device forms a discharge area E1 between a discharge electrode 6 and a counter electrode 4, supplies substitution gas to the discharge area E1, and modifies the surface of the base material to be processed. The surface modification device comprises: a slit-shaped substitution gas passage; and cover members 7, 8 that form curtain passages 22, 23 in spaces facing the discharge electrode. While the substitution gas is being supplied to the discharge area E1, gas injected from the curtain passages 22, 23 prevent the inflow of an entrained flow a and the outflows b1, b2 of the substitution gas, thereby maintaining the concentration of substitution gas inside the discharge area E1.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif de modification de surface qui atteint la modification de surface souhaitée tout en maintenant la quantité de gaz de substitution qui est fournie à un niveau faible. La Solution selon l'invention porte sur un dispositif de modification de surface qui forme une zone de décharge E1 entre une électrode de décharge 6 et une contre-électrode 4, fournit un gaz de substitution à la zone de décharge E1, et modifie la surface du matériau de base à traiter. Le dispositif de modification de surface comprend : un passage de gaz de substitution en forme de fente; et des éléments de couvercle 7, 8 qui forment des passages de rideau 22, 23 dans des espaces faisant face à l'électrode de décharge. Tandis que le gaz de substitution est fourni à la zone de décharge E1, le gaz injecté à partir des passages de rideau 22, 23 empêchent l'entrée d'un écoulement entraîné a et les écoulements sortants b1, b2 du gaz de substitution, maintenant ainsi la concentration de gaz de substitution à l'intérieur de la zone de décharge E1.
(JA) 【課題】 置換ガスの供給量を少なく保ちながら、目的の表面改質を実現できる表面改質度装置を提供すること。 【解決手段】 放電電極6と対向電極4との間に放電エリアE1を形成するとともに、放電エリアE1に置換ガスを供給して、処理基材の表面を改質する表面改質装置であって、スリット状の置換ガス通路と、放電電極との対向隙間でカーテン用通路22,23を形成するカバー部材7,8とを備え、放電エリアE1に置換ガスを供給しながら、カーテン用通路22,23から噴射されるガスによって同伴流aの流入や置換ガスの流出b1,b2を防止し、放電エリアE1内の置換ガス濃度を維持するようにした。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 日语 (JA)
申请语言: 日语 (JA)