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1. (WO2019028064) FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE
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公布号: WO/2019/028064 国际申请号: PCT/US2018/044671
公布日: 07.02.2019 国际申请日: 31.07.2018
国际专利分类:
H01S 3/10 (2006.01) ,H01L 21/268 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
S
利用受激发射的器件
3
激光器,即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件
10
控制辐射的强度、频率、相位、极化或方向,例如开关、选通、调制或解调
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
02
半导体器件或其部件的制造或处理
04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
18
器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体,如掺杂材料
26
用波或粒子辐射轰击的
263
带有高能辐射的
268
应用电磁辐射的,例如激光辐射
申请人:
IPG PHOTONICS CORPORATION [US/US]; 50 Old Webster Road Oxford, MA 01540, US
发明人:
LIMANOV, Alexander; US
VON DADELSZEN, Michael; US
CORDINGLEY, James; US
SCHOENLY, Joshua; US
代理人:
KATESHOV, Yuri; US
优先权数据:
62/539,18331.07.2017US
62/549,25423.08.2017US
标题 (EN) FIBER LASER APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING WORKPIECE
(FR) APPAREIL LASER À FIBRE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE PIÈCE
摘要:
(EN) A surface treating method and apparatus include operating a quasi-continuous wave fiber laser and pre-scan shaping the laser beam such that an instantaneous spot beam has predetermined geometrical dimensions, intensity profile, and power; operating a scanner at an optimal angular velocity and angular range to divide the pre-scan beam into a plurality of sub-beams deflected towards the surface being processed; guiding the sub-beams through a post-scan optical assembly to provide the spot beam with predetermined geometrical dimensions, power, and angular velocity and range, which are selected such that the instantaneous spot beam is dragged in a scan direction over a desired length at a desired scan velocity, which allow the treated surface to be exposed for a predetermined exposure duration and have a predetermined fluence distribution providing the treated surface with a quality comparable to that of the surface processed by an excimer laser or a burst-mode fiber laser.
(FR) L'invention concerne un procédé de fonctionnement d'un appareil de traitement de surface qui comprend l'exploitation d'un laser à fibre à onde quasi-continue et la mise en forme pré-balayage du faisceau laser de manière qu'un faisceau ponctuel instantané présente des dimensions géométriques, un profil d'intensité et une puissance prédéterminés ; l'exploitation d'un dispositif de balayage à une vitesse angulaire et dans une plage angulaire optimales pour diviser le faisceau pré-balayage en une pluralité de sous-faisceaux déviés vers la surface soumise au traitement ; le guidage des sous-faisceaux à travers un ensemble optique post-balayage pour conférer au faisceau ponctuel des dimensions géométriques, une puissance, et une vitesse et une plage angulaires prédéterminées, qui sont sélectionnées de manière que le faisceau ponctuel instantané soit entraîné dans une direction de balayage sur une longueur souhaitée à une vitesse de balayage souhaitée, qui permettent à la surface traitée d'être exposée pendant une durée d'exposition prédéterminée et d'avoir une distribution de fluence prédéterminée conférant à la surface traitée une qualité comparable à celle de la surface traitée par un laser à excimère ou un laser à fibre en mode rafale.
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 英语 (EN)
申请语言: 英语 (EN)