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1. (WO2019008814) SUBSTRATE GRIPPING HAND AND SUBSTRATE CONVEYING DEVICE PROVIDED WITH SAME
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公布号: WO/2019/008814 国际申请号: PCT/JP2018/005573
公布日: 10.01.2019 国际申请日: 16.02.2018
国际专利分类:
H01L 21/677 (2006.01)
H 电学
01
基本电气元件
L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
21
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
申请人:
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
カワサキロボティクス(アメリカ合衆国),インク. KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC. [US/US]; ミシガン州ウィクソム レイクビュウドライブ 28140 28140, Lakeview Drive, Wixom, Michigan 48393, US
发明人:
吉田 哲也 YOSHIDA, Tetsuya; --
中原 一 NAKAHARA, Hajime; --
タン, マーク TANG, Mark; --
代理人:
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
优先权数据:
15/641,82505.07.2017US
标题 (EN) SUBSTRATE GRIPPING HAND AND SUBSTRATE CONVEYING DEVICE PROVIDED WITH SAME
(FR) MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT LA COMPRENANT
(JA) 基板把持ハンド及びそれを備える基板搬送装置
摘要:
(EN) The present invention is a substrate gripping hand provided with: a base plate (11); and a guiding member (12) that is provided on the base plate (11), that is formed in an L shape as viewed in the horizontal direction, and an inner wall surface (12i) of which is formed so as to bend, wherein the inner wall surface (12i) of the guiding member (12) is formed such that the angle α between a first inner wall section (12c), which is a section most distant from a bottom surface (12b), and the bottom surface (12b) becomes larger than the angle β between a second inner wall section (12d), which is a section closest to the bottom surface (12b), and the bottom surface (12b).
(FR) La présente invention concerne une main de préhension de substrat comportant : une plaque de base (11) ; et un élément de guidage (12) qui est disposé sur la plaque de base (11), qui se présente sous une forme de L tel qu'observé dans la direction horizontale, et dont une surface de paroi interne (12i) est formée de manière à fléchir, la surface de paroi interne (12i) de l'élément de guidage (12) étant formée de telle sorte que l'angle α entre une première section de paroi interne (12c), qui est la section la plus éloignée d'une surface inférieure (12b), et la surface inférieure (12b) devient supérieur à l'angle β entre une seconde section de paroi interne (12d), qui est la section la plus proche de la surface inférieure (12b), et la surface inférieure (12b).
(JA) ベース板(11)と、ベース板(11)に設けられ、水平方向から見て、L字状に形成されていて、内壁面(12i)が屈曲するように形成されている、ガイド部材(12)と、を備え、ガイド部材(12)の内壁面(12i)は、底面(12b)から最も遠い部分である第1内壁部(12c)と底面(12b)とのなす角度αが、底面(12b)に最も近い部分である第2内壁部(12d)と底面(12b)とのなす角度βに比して、大きくなるように形成されている、基板把持ハンド。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
非洲地区知识产权组织 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
欧亚专利局 (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧洲专利局 (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
非洲知识产权组织 (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
公布语言: 日语 (JA)
申请语言: 日语 (JA)